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Veteksemicon glänzt auf der Shanghai SEMICON International Exhibition 2025 und ist mit innovativen Technologien führend in die Zukunft der Halbleiterindustrie

In der Semiconductor Manufacturing -Branche hat die Ablagerungstechnologie von Dünnfilmmaterialien im Laufe der Gerätegröße beispiellose Herausforderungen gestellt. Atomic Layer Deposition (ALD) als Dünnfilm -Abscheidungstechnologie, die auf Atomebene eine genaue Kontrolle erreichen kann, ist zu einem unverzichtbaren Bestandteil der Semiconductor -Herstellung geworden. Dieser Artikel zielt darauf ab, den Prozessfluss und die Prinzipien von ALD einzuführen, um seine wichtige Rolle bei der Herstellung fortgeschrittener Chips zu verstehen.

Es ist ideal, um integrierte Schaltkreise oder Halbleiterbauelemente auf einer perfekt kristallinen Basisschicht aufzubauen. Der Epitaxieprozess (EPI) in der Halbleiterfertigung zielt darauf ab, eine feine einkristalline Schicht, normalerweise etwa 0,5 bis 20 Mikrometer, auf einem einkristallinen Substrat abzuscheiden. Der Epitaxieprozess ist ein wichtiger Schritt bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen, insbesondere bei der Herstellung von Siliziumwafern.