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Spezialgraphit

VeTek Semiconductor bietet Spezialgraphit wie silikonisierten Graphit, pyrolytischen Kohlenstoff, porösen Graphit, glasartige Kohlenstoffbeschichtung, hochreine Graphitfolie und hochreinen isostatischen Graphit an. Dies sind verschiedene Arten von Spezialgraphitmaterialien, die gemeinsame Eigenschaften und Anwendungen haben. Hier finden Sie eine kurze Einführung in ihre Funktionen und Anwendungen:

● Silikonisierter Graphit: Silikonisierter Graphit ist ein spezielles Graphitmaterial, das durch die Kombination von Graphit mit Siliziumverbindungen entsteht. Es weist eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und mechanische Eigenschaften auf. Silikonisierter Graphit wird häufig in Hochtemperaturöfen, korrosionsbeständigen Geräten und in der Halbleiterfertigung verwendet.

● Pyrolytischer Kohlenstoff: Pyrolytischer Kohlenstoff ist ein Kohlenstoffmaterial, das durch Hochtemperaturpyrolyse organischer Substanzen wie Kohle und Petrolkoks gewonnen wird. Es zeichnet sich durch hohe Reinheit, Dichte, Festigkeit und geringe elektrische Leitfähigkeit aus. Pyrolytischer Kohlenstoff findet breite Anwendung als Hochtemperaturmaterialien und Strukturkomponenten in der Halbleiterindustrie, chemischen Ausrüstung, Luft- und Raumfahrt und anderen Bereichen.

● Poröser Graphit: Poröser Graphit ist ein spezielles Graphitmaterial mit mikro- und mesoporösen Strukturen. Es verfügt über eine große spezifische Oberfläche und Porosität und bietet hervorragende Adsorptions- und Wärmeleitfähigkeitseigenschaften. Poröser Graphit wird üblicherweise bei der Gastrennung, der SiC-Kristallzüchtung und anderen Anwendungen verwendet.

● Glaskohlenstoffbeschichtung: Unter Glaskohlenstoffbeschichtung versteht man die Technik, glasartiges Kohlenstoffmaterial als Oberflächenbeschichtung aufzutragen. Es weist eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und elektrische Leitfähigkeit auf. Glaskohlenstoffbeschichtungen werden häufig in korrosionsbeständigen Beschichtungen, Beschichtungsmaterialien für Elektronenstrahlkanonen und anderen Halbleiterbereichen verwendet.

● Hochreiner isostatischer Graphit: Hochreiner isostatischer Graphit ist ein hochreines Spezialgraphitmaterial, das durch ein isostatisches Hochtemperatur-Pressverfahren hergestellt wird. Es zeichnet sich durch eine gleichmäßige Mikrostruktur, eine hohe Dichte und einen niedrigen Sauerstoffgehalt aus. Hochreiner isostatischer Graphit wird in großem Umfang in der Präzisionsbearbeitung, in Wärmeableitungsmaterialien, in der Halbleiterfertigung, in der Photovoltaik, in der Luft- und Raumfahrt und in anderen Branchen eingesetzt.


Hochreines Graphitpapier ist ein Spezialmaterial für die Halbleiterindustrie. Mit seiner außergewöhnlichen thermischen und elektrischen Leitfähigkeit spielt es eine entscheidende Rolle in Anwendungen wie Kühlkörpern, thermischen Schnittstellenmaterialien und elektrischer Isolierung. Die leichte und flexible Beschaffenheit von hochreinem Graphitpapier macht es ideal für die Verbesserung des Wärmemanagements und die Optimierung der Leistung von Halbleiterbauelementen. Seine hohe Reinheit (Verunreinigung unter 5 ppm) gewährleistet einen zuverlässigen und effizienten Betrieb und macht es zu einer wertvollen Komponente bei der Herstellung und Montage von Halbleitern.

Diese speziellen Graphitwerkstoffe bieten in ihren jeweiligen Einsatzgebieten einzigartige Eigenschaften und Anwendungsvorteile. Sie spielen eine entscheidende Rolle in Hochtemperaturumgebungen, Korrosionsbeständigkeit, Elektronik, Energie, Chemietechnik, Luft- und Raumfahrt sowie in der Halbleiterindustrie und bieten wesentliche Unterstützung für Fortschritte und Innovationen in diesen Sektoren.


Hauptmerkmale

● Ultrahochreine Optionen mit Verunreinigungsgehalten unter 5 ppm für kritische Halbleiterprozesse.

● Hervorragende Hochtemperaturstabilität und Thermoschockbeständigkeit, geeignet für PVT-SiC-Kristallwachstum und Vakuumöfen.

● Verschiedene Materialformen: isostatischer Graphit, poröser Graphit, silikonisierter Graphit, PyC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung und flexible Graphitplatten.

● Hervorragende Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und kontrollierte Porosität für Gasmanagement- und thermische Feldanwendungen.

● Eigene Bearbeitungs- und Beschichtungskapazitäten (SiC / TaC / PyC), die maßgeschneiderte Lösungen aus einer Hand ermöglichen.

● Kompatibel mit den wichtigsten Geräteplattformen für die Halbleiter- und Kristallzüchtung.


Produktspezifikationen

Beschichtungsparameter für pyrolytischen Kohlenstoff (PyC).
Artikel Einheit Wert
Kristallstruktur - Sechseckig
Ausrichtung - Orientiert oder nicht ausgerichtet entlang der 001-Richtung
Schüttdichte g/cm³ ~2,24
Mikrostruktur - Polykristallines/mehrschichtiges Graphen
Härte GPa 1.1
Elastizitätsmodul GPa 10
Typische Dicke μm 30-100
Oberflächenrauheit μm 1.5
Produktreinheit ppm ≤5 ppm


Anwendungen

Um den vielfältigen Anforderungen von Halbleiter- und Hochtemperaturprozessen gerecht zu werden, bietet VeTek gezielt Spezialgraphitprodukte an. Die folgende Tabelle klassifiziert sie nach Hauptanwendungsbereichen und listet typische Materialien/Komponenten und anwendbare Prozesse auf:

Anwendungsbereich Typische Materialien/Produkte Anwendungsbeschreibung
SiC-Kristallwachstum (PVT) Poröser Graphit, PyC-beschichteter Graphitring, isostatischer Graphittiegel, Führungsring Wird in thermischen PVT-SiC-Kristallwachstumsfeldern verwendet; Bietet kontrollierten Dampftransport, hohe Reinheit und thermische Stabilität bis >2200 °C und reduziert so die Partikelkontamination.
Halbleiterepitaxie / MOCVD Heizungen, Mit PyC/Glaskohlenstoff beschichtete Teile Hochreine thermische Feldkomponenten für Si/SiC/GaN-Epitaxie- und MOCVD-Systeme; ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit und chemische Inertheit.
Hochtemperaturöfen und Vakuum Graphitheizungen, Dreiblättriger Graphittiegel Korrosionsbeständige und thermisch stabile Materialien für Vakuumöfen, Heißzonenerhitzer und Hochtemperatur-Verarbeitungsanlagen.
Wärmemanagement Hochreiner Graphitfilz, Graphitpapier Flexible Folien mit hoher thermischer/elektrischer Leitfähigkeit für Kühlkörper, thermische Schnittstellenmaterialien und elektrische Isolierung in Halbleiterbauelementen (Verunreinigung <5 ppm).
Korrosions-/Verschleißschutz Glasartige Carbonbeschichtung, silikonisierter Graphit Oberflächenbeschichtungen und Massenmaterialien mit hervorragender Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und elektrischer Leitfähigkeit für Elektronenstrahlkanonen und raue Umgebungen.
Gastrennung und Adsorption Poröser Graphit Mikro-/mesoporöse Struktur mit großer spezifischer Oberfläche für Gastrennung, Filtration und Anwendungen in kontrollierter Atmosphäre.

Ausführlichere Produkt- und Prozess-Matching-Lösungen finden Sie auf den entsprechenden Unterkategorieseiten:Poröser Graphit, Isotroper Graphit, Pyrolytische Kohlenstoffbeschichtungusw.

Produktkategorien

Pyrolytic Graphite Coated Graphite Elements Mit Pyrolysegraphit beschichtete Graphitelemente Glassy Carbon Coated Graphite Crucible Mit Glaskohlenstoff beschichteter Graphittiegel High Purity Porous Graphite Hochreiner poröser Graphit Three-petal Graphite Crucible Dreiblättriger isostatischer Graphittiegel High Purity Graphite Paper Hochreines Graphitpapier PECVD Graphite Boat PECVD-Graphitboot


Als professioneller Hersteller und Lieferant von Spezialgraphit in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittlichen und langlebigen Spezialgraphit aus China kaufen möchten, Sie können dies tunhinterlassen Sie uns eine Nachricht.


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Dreiteilige Graphittiegel

Dreiteilige Graphittiegel

Für anspruchsvolle Halbleiterkristallwachstumsanwendungen liefert der dreiteilige Graphittiegel von VETEK die Stabilität, Reinheit und thermische Gleichmäßigkeit, die der Prozess erfordert. Das geteilte Design besteht aus hochwertigem isostatischem Graphit – optional mit SiC-, TaC- oder PyC-Beschichtung – und dient nicht nur der Bequemlichkeit. Es reduziert aktiv die thermische Belastung, beschleunigt die Wartung und sorgt für eine kontinuierliche Leistung von Zyklus zu Zyklus.
PG-beschichteter Ring (Pyrolytischer Graphit).

PG-beschichteter Ring (Pyrolytischer Graphit).

Der mit VETEK PG (Pyrolytischer Graphit) beschichtete Ring wurde speziell für Halbleiter-Wärmefelder und Kristallwachstumsumgebungen entwickelt, in denen eine gleichmäßige Wärmeverteilung und stabile Temperaturen nicht verhandelbar sind. Ausgehend von einer hochreinen Graphitbasis und abschließend mit einer dichten pyrolytischen Graphitbeschichtung bietet diese Komponente eine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, hält starken Temperaturschocks stand und behält ihre Abmessungen über lange Laufzeiten bei extremen Temperaturen. Diese Ringe werden häufig in Kristallwachstumsöfen, Hochtemperaturöfen und Wärmefeldbaugruppen für Halbleiter eingesetzt – überall dort, wo eine präzise Temperaturkontrolle direkt die Prozesswiederholbarkeit und die Qualität des Endprodukts beeinflusst.
Hochreines Siliziumkarbid (SiC)-Pulver

Hochreines Siliziumkarbid (SiC)-Pulver

Das hochreine Siliziumkarbid-Pulver (SiC) von VeTek Semiconductor wurde speziell für das SiC-Kristallwachstum, Halbleitermaterialien und fortschrittliche Keramikanwendungen entwickelt. Durch fortschrittliche Reinigungstechnologie und strenge Qualitätskontrolle bietet unser SiC-Pulver einen extrem niedrigen Verunreinigungsgrad, eine stabile Partikelverteilung und eine hervorragende Konsistenz für anspruchsvolle Herstellungsprozesse.
Mit Pyrolytischem Kohlenstoff (PyC) beschichteter Graphitring

Mit Pyrolytischem Kohlenstoff (PyC) beschichteter Graphitring

In SiC-PVT-Kristallzüchtungsanlagen werden Graphitteile über lange Zeiträume bei sehr hohen Temperaturen betrieben. Der PyC-beschichtete Graphitring von VeTek ist für diese Art von Einsatz konzipiert. Per CVD wird eine pyrolytische Kohlenstoffschicht auf hochreinem Graphit abgeschieden. Dadurch erhält das Teil eine bessere Oberflächenstabilität und es lösen sich im Betrieb weniger Partikel. Normalerweise platzieren Sie es im Wärmefeldbereich, um die Dampfströmung und die Wärmeausbreitung im Ofen zu steuern. Die Beschichtung verlangsamt außerdem die Graphitsublimation bei Temperaturen über 2200 °C, was die Lebensdauer des gesamten Bauteils verlängert.
Maßgeschneiderte Graphitheizung für die heiße Zone

Maßgeschneiderte Graphitheizung für die heiße Zone

Bei der Halbleiterfertigung und fortschrittlichen Materialverarbeitung bestimmen die Stabilität und Reinheit des Wärmefelds direkt die Wettbewerbsfähigkeit des Endprodukts. VETEK widmet sich der Forschung und Entwicklung sowie der Herstellung von Hochleistungs-Graphitheizsystemen und bietet zuverlässige Lösungen für MOCVD, SiC-Epitaxie und verschiedene Hochtemperatur-Vakuumöfen.
Führungsring aus porösem Graphit

Führungsring aus porösem Graphit

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant von Führungsringen aus porösem Graphit in China. Wir bieten nicht nur fortschrittliche und langlebige Führungsringe aus porösem Graphit, sondern unterstützen auch maßgeschneiderte Dienstleistungen. Willkommen beim Kauf eines Führungsrings aus porösem Graphit in unserer Fabrik.
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