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VeTek Semiconductor bietet Spezialgraphit wie silikonisierten Graphit, pyrolytischen Kohlenstoff, porösen Graphit, glasartige Kohlenstoffbeschichtung, hochreine Graphitfolie und hochreinen isostatischen Graphit an. Dies sind verschiedene Arten von Spezialgraphitmaterialien, die gemeinsame Eigenschaften und Anwendungen haben. Hier finden Sie eine kurze Einführung in ihre Funktionen und Anwendungen:
● Silikonisierter Graphit: Silikonisierter Graphit ist ein spezielles Graphitmaterial, das durch die Kombination von Graphit mit Siliziumverbindungen entsteht. Es weist eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und mechanische Eigenschaften auf. Silikonisierter Graphit wird häufig in Hochtemperaturöfen, korrosionsbeständigen Geräten und in der Halbleiterfertigung verwendet.
● Pyrolytischer Kohlenstoff: Pyrolytischer Kohlenstoff ist ein Kohlenstoffmaterial, das durch Hochtemperaturpyrolyse organischer Substanzen wie Kohle und Petrolkoks gewonnen wird. Es zeichnet sich durch hohe Reinheit, Dichte, Festigkeit und geringe elektrische Leitfähigkeit aus. Pyrolytischer Kohlenstoff findet breite Anwendung als Hochtemperaturmaterialien und Strukturkomponenten in der Halbleiterindustrie, chemischen Ausrüstung, Luft- und Raumfahrt und anderen Bereichen.
● Poröser Graphit: Poröser Graphit ist ein spezielles Graphitmaterial mit mikro- und mesoporösen Strukturen. Es verfügt über eine große spezifische Oberfläche und Porosität und bietet hervorragende Adsorptions- und Wärmeleitfähigkeitseigenschaften. Poröser Graphit wird üblicherweise bei der Gastrennung, der SiC-Kristallzüchtung und anderen Anwendungen verwendet.
● Glaskohlenstoffbeschichtung: Unter Glaskohlenstoffbeschichtung versteht man die Technik, glasartiges Kohlenstoffmaterial als Oberflächenbeschichtung aufzutragen. Es weist eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und elektrische Leitfähigkeit auf. Glaskohlenstoffbeschichtungen werden häufig in korrosionsbeständigen Beschichtungen, Beschichtungsmaterialien für Elektronenstrahlkanonen und anderen Halbleiterbereichen verwendet.
● Hochreiner isostatischer Graphit: Hochreiner isostatischer Graphit ist ein hochreines Spezialgraphitmaterial, das durch ein isostatisches Hochtemperatur-Pressverfahren hergestellt wird. Es zeichnet sich durch eine gleichmäßige Mikrostruktur, eine hohe Dichte und einen niedrigen Sauerstoffgehalt aus. Hochreiner isostatischer Graphit wird in großem Umfang in der Präzisionsbearbeitung, in Wärmeableitungsmaterialien, in der Halbleiterfertigung, in der Photovoltaik, in der Luft- und Raumfahrt und in anderen Branchen eingesetzt.
Hochreines Graphitpapier ist ein Spezialmaterial für die Halbleiterindustrie. Mit seiner außergewöhnlichen thermischen und elektrischen Leitfähigkeit spielt es eine entscheidende Rolle in Anwendungen wie Kühlkörpern, thermischen Schnittstellenmaterialien und elektrischer Isolierung. Die leichte und flexible Beschaffenheit von hochreinem Graphitpapier macht es ideal für die Verbesserung des Wärmemanagements und die Optimierung der Leistung von Halbleiterbauelementen. Seine hohe Reinheit (Verunreinigung unter 5 ppm) gewährleistet einen zuverlässigen und effizienten Betrieb und macht es zu einer wertvollen Komponente bei der Herstellung und Montage von Halbleitern.
Diese speziellen Graphitwerkstoffe bieten in ihren jeweiligen Einsatzgebieten einzigartige Eigenschaften und Anwendungsvorteile. Sie spielen eine entscheidende Rolle in Hochtemperaturumgebungen, Korrosionsbeständigkeit, Elektronik, Energie, Chemietechnik, Luft- und Raumfahrt sowie in der Halbleiterindustrie und bieten wesentliche Unterstützung für Fortschritte und Innovationen in diesen Sektoren.
● Ultrahochreine Optionen mit Verunreinigungsgehalten unter 5 ppm für kritische Halbleiterprozesse.
● Hervorragende Hochtemperaturstabilität und Thermoschockbeständigkeit, geeignet für PVT-SiC-Kristallwachstum und Vakuumöfen.
● Verschiedene Materialformen: isostatischer Graphit, poröser Graphit, silikonisierter Graphit, PyC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung und flexible Graphitplatten.
● Hervorragende Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und kontrollierte Porosität für Gasmanagement- und thermische Feldanwendungen.
● Eigene Bearbeitungs- und Beschichtungskapazitäten (SiC / TaC / PyC), die maßgeschneiderte Lösungen aus einer Hand ermöglichen.
● Kompatibel mit den wichtigsten Geräteplattformen für die Halbleiter- und Kristallzüchtung.
| Beschichtungsparameter für pyrolytischen Kohlenstoff (PyC). | ||
| Artikel | Einheit | Wert |
| Kristallstruktur | - | Sechseckig |
| Ausrichtung | - | Orientiert oder nicht ausgerichtet entlang der 001-Richtung |
| Schüttdichte | g/cm³ | ~2,24 |
| Mikrostruktur | - | Polykristallines/mehrschichtiges Graphen |
| Härte | GPa | 1.1 |
| Elastizitätsmodul | GPa | 10 |
| Typische Dicke | μm | 30-100 |
| Oberflächenrauheit | μm | 1.5 |
| Produktreinheit | ppm | ≤5 ppm |
Um den vielfältigen Anforderungen von Halbleiter- und Hochtemperaturprozessen gerecht zu werden, bietet VeTek gezielt Spezialgraphitprodukte an. Die folgende Tabelle klassifiziert sie nach Hauptanwendungsbereichen und listet typische Materialien/Komponenten und anwendbare Prozesse auf:
| Anwendungsbereich | Typische Materialien/Produkte | Anwendungsbeschreibung |
| SiC-Kristallwachstum (PVT) | Poröser Graphit, PyC-beschichteter Graphitring, isostatischer Graphittiegel, Führungsring | Wird in thermischen PVT-SiC-Kristallwachstumsfeldern verwendet; Bietet kontrollierten Dampftransport, hohe Reinheit und thermische Stabilität bis >2200 °C und reduziert so die Partikelkontamination. |
| Halbleiterepitaxie / MOCVD | Heizungen, Mit PyC/Glaskohlenstoff beschichtete Teile | Hochreine thermische Feldkomponenten für Si/SiC/GaN-Epitaxie- und MOCVD-Systeme; ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit und chemische Inertheit. |
| Hochtemperaturöfen und Vakuum | Graphitheizungen, Dreiblättriger Graphittiegel | Korrosionsbeständige und thermisch stabile Materialien für Vakuumöfen, Heißzonenerhitzer und Hochtemperatur-Verarbeitungsanlagen. |
| Wärmemanagement | Hochreiner Graphitfilz, Graphitpapier | Flexible Folien mit hoher thermischer/elektrischer Leitfähigkeit für Kühlkörper, thermische Schnittstellenmaterialien und elektrische Isolierung in Halbleiterbauelementen (Verunreinigung <5 ppm). |
| Korrosions-/Verschleißschutz | Glasartige Carbonbeschichtung, silikonisierter Graphit | Oberflächenbeschichtungen und Massenmaterialien mit hervorragender Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und elektrischer Leitfähigkeit für Elektronenstrahlkanonen und raue Umgebungen. |
| Gastrennung und Adsorption | Poröser Graphit | Mikro-/mesoporöse Struktur mit großer spezifischer Oberfläche für Gastrennung, Filtration und Anwendungen in kontrollierter Atmosphäre. |
Ausführlichere Produkt- und Prozess-Matching-Lösungen finden Sie auf den entsprechenden Unterkategorieseiten:Poröser Graphit, Isotroper Graphit, Pyrolytische Kohlenstoffbeschichtungusw.
Mit Pyrolysegraphit beschichtete Graphitelemente
Mit Glaskohlenstoff beschichteter Graphittiegel
Hochreiner poröser Graphit
Dreiblättriger isostatischer Graphittiegel
Hochreines Graphitpapier
PECVD-Graphitboot
Als professioneller Hersteller und Lieferant von Spezialgraphit in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittlichen und langlebigen Spezialgraphit aus China kaufen möchten, Sie können dies tunhinterlassen Sie uns eine Nachricht.