Sic Einkristallwachstumsprozess Ersatzteile

Vetekemicons Produkt, dasTantal -Carbid (TAC) -MehneProdukte für den SIC -Einzelkristallwachstumsprozess befassen sich mit den Herausforderungen, die mit der Wachstumsgrenzfläche von Siliziumcarbidkristallen (SIC) verbunden sind, insbesondere den umfassenden Defekten, die am Rand des Kristalls auftreten. Durch die Anwendung von TAC -Beschichtung möchten wir die Qualität der Kristallwachstum verbessern und den effektiven Bereich des Kristallzentrums erhöhen, was für das Erreichen eines schnellen und dicken Wachstums von entscheidender Bedeutung ist.

Die TAC-Beschichtung ist eine kerntechnologische Lösung für den Anbau von hoher QualitätSic Einkristallwachstumsprozess. Wir haben erfolgreich eine TAC -Beschichtungstechnologie unter Verwendung einer chemischen Dampfabscheidung (CVD) entwickelt, die ein international fortgeschrittenes Niveau erreicht hat. TAC hat außergewöhnliche Eigenschaften, einschließlich eines hohen Schmelzpunkts von bis zu 3880 ° C, hervorragender mechanischer Festigkeit, Härte und thermischer Schockwiderstand. Es weist auch eine gute chemische Trägheit und thermische Stabilität auf, wenn es hohen Temperaturen und Substanzen wie Ammoniak, Wasserstoff und Silizium enthaltender Dampf ausgesetzt ist.

VekekemiconTantal -Carbid (TAC) -MehneBietet eine Lösung, um die kantenbezogenen Probleme im SIC-Einzelkristallwachstumsprozess anzugehen und die Qualität und Effizienz des Wachstumsprozesses zu verbessern. Mit unserer fortschrittlichen TAC-Beschichtungstechnologie möchten wir die Entwicklung der Halbleiterindustrie der dritten Generation unterstützen und die Abhängigkeit von importierten Schlüsselmaterialien verringern.

PVT -Methode SIC Einer Kristallwachstumsprozess Ersatzteile:

TAC -beschichteter Tiegel, Samenhalter mit TAC -Beschichtung, TAC -Beschichtungsanleitung sind wichtige Teile im SIC- und AIN -Einzelkristallofen nach PVT -Methode.

● Hochtemperaturwiderstand

●  Hohe Reinheit verschmutzt keine SIC -Rohstoffe und sic -Einzelkristalle.

●  Resistent gegen Al Steam und N₂korrosion

●  Hohe eutektische Temperatur (mit ALN), um den Kristallvorbereitungszyklus zu verkürzen.

●  Recycelbar (bis zu 200 Stunden) verbessert es die Nachhaltigkeit und Effizienz der Herstellung solcher einzelnen Kristalle.