Branchennachrichten

Erfahren Sie, wie CVD-SiC-beschichtete Graphitsuszeptoren das epitaktische Wachstum verbessern, indem sie die thermische Gleichmäßigkeit verbessern, Verunreinigungen reduzieren und die Lebensdauer der Komponenten bei der Herstellung von SiC-, GaN-, LED- und Siliziumhalbleitern verlängern.

Entdecken Sie, wie TaC-beschichtete Graphitheizungen die Temperaturgleichmäßigkeit verbessern, den Energieverbrauch senken und die Lebensdauer bei der GaN-MOCVD-Epitaxie im Vergleich zu herkömmlichen pBN-beschichteten Heizungen verlängern.

Entdecken Sie, wie die CVD-TaC-Beschichtung das SiC-Kristallwachstum in PVT-Öfen verbessert, indem sie die Kohlenstoffverunreinigung reduziert, Graphitkomponenten schützt, die Lebensdauer verlängert und die Kristallqualität für die fortschrittliche Halbleiterfertigung verbessert.