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Bei der Herstellung hochwertiger und hochrangiger Silizium-Carbid-Substrate erfordert der Kern eine präzise Kontrolle der Produktionstemperatur durch gute thermische Feldmaterialien. Derzeit sind die thermischen Feldsteuer-Kits hauptsächlich verwendete Strukturkomponenten mit hoher Purity-Graphit, deren Funktionen geschmolzenes Kohlenstoffpulver und Siliziumpulver erhitzen und Wärme aufrechterhalten.

Wenn Sie die Halbleiter der dritten Generation sehen, werden Sie sich sicherlich fragen, was die erste und die zweite Generationen waren. Die "Generation" wird hier basierend auf den Materialien der Semiconductor -Herstellung eingestuft.

Das elektrostatische Chuck (ESC), auch als elektrostatisches Chuck (ESC, E-Chuck) bekannt, ist ein Gerät, das das Prinzip der elektrostatischen Adsorption verwendet, um das adsorbierte Material zu halten und zu reparieren. Es ist für Vakuum- und Plasmaumgebungen geeignet.

Die SIC-Waferträger als wichtige Verbrauchsmaterialien in der Halbleiterindustrie der dritten Generation beeinflussen ihre technischen Merkmale direkt die Ausbeute an epitaxiellem Wachstum und Geräteherstellung. Angesichts der steigenden Nachfrage nach Hochspannungs- und Hochtemperaturgeräten in Branchen wie 5G-Basisstationen und neuen Energiefahrzeugen stehen die Forschung und Anwendung von SIC-Waferträgern nun mit erheblichen Entwicklungsmöglichkeiten.

Alumina -Keramik sind das "Arbeitstier" für die Herstellung von Keramikkomponenten. Sie weisen hervorragende mechanische Eigenschaften, ultrahohe Schmelzpunkte und Härte, Korrosionsresistenz, starke chemische Stabilität, hohen Widerstand und überlegene elektrische Isolierung auf. Sie werden üblicherweise zur Herstellung von Polierplatten, Vakuumtichen, Keramikarmen und ähnlichen Teilen verwendet.

Halbleitermaterialien können in chronologischer Reihenfolge in drei Generationen eingeteilt werden. Die erste Generation besteht aus häufigen Elementmaterialien wie Germanium und Silizium, die durch bequemes Schalten gekennzeichnet sind und im Allgemeinen in integrierten Schaltungen verwendet werden. Die Semikonduktoren der zweiten Generation wie Galliumarsenid und Indiumphosphid werden hauptsächlich in Lumineszenz- und Kommunikationsmaterialien verwendet.