SIC und GaN sind breite Bandgap -Halbleiter mit Vorteilen gegenüber Silizium wie höheren Breakdown -Spannungen, schnellere Schaltgeschwindigkeiten und überlegene Effizienz. SIC ist aufgrund seiner höheren thermischen Leitfähigkeit besser für Hochleistungsanwendungen mit Hochleistungsanwendungen, während Gan dank seiner überlegenen Elektronenmobilität in hochfrequenten Anwendungen auszeichnet.
Die Elektronenstrahlverdampfung ist im Vergleich zu Widerstandserwärmung eine hocheffiziente und weit verbreitete Beschichtungsmethode, die das Verdunstungsmaterial mit einem Elektronenstrahl erhitzt und dazu führt, dass es verdampft und in einen dünnen Film kondensiert.
Die Vakuumbeschichtung umfasst die Verdampfung von Filmmaterial, Vakuumtransport und Dünnfilmwachstum. Nach den verschiedenen Filmmaterialverdampfungsmethoden und Transportprozessen kann die Vakuumbeschichtung in zwei Kategorien unterteilt werden: PVD und CVD.
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