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Was ist die spezifische Anwendung von TAC -beschichteten Teilen im Semiconductor -Bereich?22 2024-11

Was ist die spezifische Anwendung von TAC -beschichteten Teilen im Semiconductor -Bereich?

Tantalum-Carbid (TAC) Beschichtungen werden im Halbleiterfeld weit verbreitet, hauptsächlich für epitaxiale Wachstumsreaktorkomponenten, einzelne Kristallwachstumskomponenten, Hochtemperatur-industrielle Komponenten, MOCVD-Systemheizungen und Waferträger.
Warum versagt der SiC-beschichtete Graphit-Suszeptor? - VeTek Semiconductor21 2024-11

Warum versagt der SiC-beschichtete Graphit-Suszeptor? - VeTek Semiconductor

Während des SIC -epitaxialen Wachstumsprozesses kann ein SIC -beschichtetes Graphitsuspensionsfehler auftreten. Diese Arbeit führt eine strenge Analyse des Versagensphänoms der sic -beschichteten Graphitsuspension durch, die hauptsächlich zwei Faktoren umfasst: sic epitaxiale Gasversagen und SIC -Beschichtungsversagen.
Was sind die Unterschiede zwischen MBE- und MOCVD-Technologien?19 2024-11

Was sind die Unterschiede zwischen MBE- und MOCVD-Technologien?

In diesem Artikel werden hauptsächlich die jeweiligen Prozessvorteile und Unterschiede des Epitaxieprozesses des molekularen Strahls und der metallorganischen chemischen Dampfabscheidungstechnologien erörtert.
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