Branchennachrichten

In diesem Artikel werden hauptsächlich die jeweiligen Prozessvorteile und Unterschiede des Epitaxieprozesses des molekularen Strahls und der metallorganischen chemischen Dampfabscheidungstechnologien erörtert.

Das poröse Tantalcarbid von VeTek Semiconductor verfügt als SiC-Kristallwachstumsmaterial der neuen Generation über viele hervorragende Produkteigenschaften und spielt eine Schlüsselrolle in einer Vielzahl von Halbleiterverarbeitungstechnologien.

Das Funktionsprinzip des Epitaxieofens besteht darin, Halbleitermaterialien unter hoher Temperatur und hohem Druck auf einem Substrat abzuscheiden. Beim Silizium-Epitaxiewachstum wird eine Kristallschicht mit der gleichen Kristallorientierung wie das Substrat und unterschiedlicher Dicke auf einem Silizium-Einkristallsubstrat mit einer bestimmten Kristallorientierung wachsen gelassen. In diesem Artikel werden hauptsächlich die epitaktischen Wachstumsmethoden für Silizium vorgestellt: Dampfphasenepitaxie und Flüssigphasenepitaxie.