Mit der Entwicklung der Solarphotovoltaikindustrie sind Diffusionsöfen und LPCVD -Öfen die Hauptausrüstung für die Herstellung von Solarzellen, die die effiziente Leistung von Solarzellen direkt beeinflussen. Basierend auf den umfassenden Produktleistungs- und Nutzungskosten haben Siliziumcarbid -Keramikmaterialien auf dem Gebiet der Solarzellen mehr Vorteile als Quarzmaterial. Die Anwendung von Silizium -Carbid -Keramikmaterialien in der Photovoltaikindustrie kann Photovoltaikunternehmen erheblich helfen, die Kosten für die Hilfsmaterialinvestition zu senken, die Produktqualität und Wettbewerbsfähigkeit zu verbessern. Der zukünftige Trend von Siliziumcarbid-Keramikmaterialien im Photovoltaikfeld richtet sich hauptsächlich zu höherer Reinheit, stärkerer Tragfähigkeit, höherer Belastungskapazität und niedrigeren Kosten.
Der Artikel analysiert die spezifischen Herausforderungen des CVD -TAC -Beschichtungsprozesses für SIC -Einzelkristallwachstum während der Halbleiterverarbeitung, wie z. sowie die entsprechenden Branchenlösungen.
Aus der Anwendungsperspektive des SIC -Einzelkristallwachstums vergleicht dieser Artikel die grundlegenden physikalischen Parameter der TAC -Beschichtung und der SIC -Beschichtung und erklärt die grundlegenden Vorteile der TAC -Beschichtung gegenüber der SIC -Beschichtung in Bezug auf Hochtemperaturresistenz, starke chemische Stabilität, reduzierte Verunreinigungen und reduzierte Verunreinigungen und niedrigere Kosten.
Es gibt viele Arten von Messgeräten in der fabelhaften Fabrik. Zu den allgemeinen Geräten gehören Lithographie -Prozessmessgeräte, Radierungsprozess -Messgeräte, Dünnfilmabscheidungsprozess -Messgeräte, Dotierungsverfahrensmessgeräte, CMP -Prozessmessgeräte, Waferpartikelerkennungsgeräte und andere Messgeräte.
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