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Das entschlossene Prinzip des elektrostatischen Chucks ist ein wesentlicher Bestandteil seines Workflows, der die elektrostatische Kraft -Eliminierung und die Mechanismen der Waferfreisetzung beinhaltet.

Glassy Carbon ist ein nicht graphitisierter Kohlenstoff, der die Eigenschaften von Glas und Keramik kombiniert. Es verfügt über viele Eigenschaften wie Hochtemperaturwiderstand, Korrosionsbeständigkeit, gute elektrische Leitfähigkeit usw. Dieser Blog analysiert die Forschungsgeschichte und den zukünftigen Entwicklungstrend von glasigem Kohlenstoff, der es wert ist, gelesen zu werden.

Bei der Herstellung von Halbleiter werden verschiedene Arten von Produkten von Halbleiterkeramikkomponenten benötigt. Diese Produkte werden aufgrund ihrer unterschiedlichen Eigenschaften in verschiedenen Produktionsszenarien verwendet, um ihre entsprechenden Funktionen zu spielen. Sie sind unverzichtbare Produkte in der Halbleiterverarbeitungsbranche.

Tantalcarbid (TAC) ist ein Hochleistungskeramikmaterial, das für seine extrem hohe Härte, hohe Schmelzpunkt und hervorragende chemische Stabilität bekannt ist. Es wird in Halbleiter, Luft- und Raumfahrt und anderen Branchen häufig verwendet, die extreme Wärme, Verschleiß und Korrosionsbeständigkeit erfordern. In diesem Artikel wird die Struktur, die physikalischen Eigenschaften und die spezifischen Verwendungen des fertigen Produkts in der Herstellung von Halbleiter ausführlich analysiert.

Die poröse SIC -Keramikplatte ist eines der Kernmaterialien im Bereich der Semiconductor -Herstellung. Mit seiner einzigartigen Struktur und hervorragenden physikalischen Eigenschaften ist eine poröse Sic -Keramikscheibe zu einer unersetzlichen Schlüsselkomponente in hohen Temperaturen und korrosiven Umgebungen geworden. In diesem Artikel werden wir seine physikalischen Eigenschaften, Anwendungsszenarien und Auswahlvorteile tiefgreifend analysieren.

Das Quarzboot ist eine wichtige tragende Komponente, die im Semiconductor-Herstellungsprozess verwendet wird. Es wird hauptsächlich zur Hochtemperaturverarbeitung von Wafern wie Diffusion, Oxidation und Tempern verwendet. Seine hervorragende thermische Stabilität, niedrige Verschmutzungseigenschaften und Korrosionsbeständigkeit machen es zu einem unverzichtbaren Material in der Halbleiterindustrie. Dieser Artikel wird auf Materialien, physikalische Eigenschaften, Klassifizierung, Anwendungsszenarien des Quarzboots und seine Unterschiede zum Pecvd -Graphitboot erläutert.