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Die SIC-Waferträger als wichtige Verbrauchsmaterialien in der Halbleiterindustrie der dritten Generation beeinflussen ihre technischen Merkmale direkt die Ausbeute an epitaxiellem Wachstum und Geräteherstellung. Angesichts der steigenden Nachfrage nach Hochspannungs- und Hochtemperaturgeräten in Branchen wie 5G-Basisstationen und neuen Energiefahrzeugen stehen die Forschung und Anwendung von SIC-Waferträgern nun mit erheblichen Entwicklungsmöglichkeiten.

Alumina -Keramik sind das "Arbeitstier" für die Herstellung von Keramikkomponenten. Sie weisen hervorragende mechanische Eigenschaften, ultrahohe Schmelzpunkte und Härte, Korrosionsresistenz, starke chemische Stabilität, hohen Widerstand und überlegene elektrische Isolierung auf. Sie werden üblicherweise zur Herstellung von Polierplatten, Vakuumtichen, Keramikarmen und ähnlichen Teilen verwendet.

Halbleitermaterialien können in chronologischer Reihenfolge in drei Generationen eingeteilt werden. Die erste Generation besteht aus häufigen Elementmaterialien wie Germanium und Silizium, die durch bequemes Schalten gekennzeichnet sind und im Allgemeinen in integrierten Schaltungen verwendet werden. Die Semikonduktoren der zweiten Generation wie Galliumarsenid und Indiumphosphid werden hauptsächlich in Lumineszenz- und Kommunikationsmaterialien verwendet.

Quarzgeräte spielen eine entscheidende Rolle bei der Herstellung von Solarzellen und bieten außergewöhnliche thermische Resistenz, chemische Reinheit und strukturelle Stabilität, die bei Hochtemperaturprozessen erforderlich sind. Von Quarzdiffusionsröhrchen und Tiegel bis hin zu Quarzbooten und Ofenkomponenten sind diese hohen Materialien für die optimale Effizienz der Diffusions-, CVD- und Nassetching-Stufen von wesentlicher Bedeutung.

Die TAC -Beschichtung eliminiert fast vollständig das Phänomen der Kohlenstoffverkapselung, indem der direkte Kontakt zwischen dem Graphit -Tiegel und der SIC -Schmelze isoliert wird, wodurch die Defektdichte von Mikrotöhren signifikant reduziert wird

SiC -Keramik ist ein Keramikmaterial, das durch die Reaktion von Silicium (Si) und Kohlenstoffelementen (C) erzeugt wird, die extrem hohe Härte, Wärmefestigkeit und chemische Stabilität aufweisen