Der Drei-Petal-Graphit-Crucible des Vetek-Halbleiter-Graphitmaterials besteht aus der pyrolytischen Kohlenstoffbeschichtung mit hohem Reinheit, das zum Ziehen von Einkristallthermiefeld verwendet wird. Im Vergleich zum traditionellen Schmelztiegel ist die Struktur des Drei-Lob-Designs bequemer zu installieren und zu zerlegen, die Arbeitseffizienz zu verbessern, und die Verunreinigungen unter 5 ppm können die Anwendung der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie erfüllen.
Vetek Semiconductor's Drei-Petal Graphit Crucible für den Wachstumsprozess des monokristallinen Siliziums nach CZ-Methode, das Drei-Petal-Struktur-Graphit Crucible besteht aus isostatischem Graphitmaterial mit hoher Reinheit. Durch die innovative Drei-Petal-Struktur kann der traditionelle integrierte Tiegel die Schwierigkeiten der Demontage, die Wärmespannungskonzentration und andere Schmerzpunkte der Industrie effektiv lösen und in Photovoltaik-Siliziumwafern, Semikonduktoren und anderen hochwertigen Fertigungsfeldern häufig eingesetzt werden.
Materialreinheit: Die Verwendung von isostatisch gepresstem Graphit -Substrat mit Aschegehalt <5 ppm und im Allgemeinen < 10 ppm, um die Verschmutzung der Verschmutzung im Siliziumschmelzverfahren zu gewährleisten
Strukturverstärkung: Nach der grafischen Grafik bei 2200 ℃ beträgt die Biegestärke ≥ 45 mPa und der Wärmeleitungskoeffizient beträgt ≤4,6 × 10⁻⁶/℃
Oberflächenbehandlung: 10-15 μm pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung wird durch CVD-Prozess abgelagert, um die Oxidationsresistenz zu verbessern (Gewichtsverlust <1,5%/100H@1600℃).
2. Innovatives Drei-Petal-Struktur-Design
Modulare Baugruppe: 120 ° Equipartition Drei-Lob-Struktur, Installation und Demontage-Effizienz stieg um 300% um 300%
Stressfreisetzungsdesign: Die geteilte Struktur verteilt den thermischen Expansionsstress effektiv und erweitert die Lebensdauer auf mehr als 200 Zyklen
Präzisionsanpassung: Der Spalt zwischen den Ventilen beträgt <0,1 mm, und der Hochtemperatur -Keramikkleber sorgt dafür
3.. Customisierte Verarbeitungsdienste
Unterstützung φ16 "-φ40" in voller Größe, Wanddicke Toleranzregelung ± 0,5 mm
Die Gradientendichtestruktur von 1,83 g/cm³ kann ausgewählt werden, um die thermische Feldverteilung zu optimieren
Bereitstellung von Wertschöpfungsprozessen wie Bornitrid-Verbundbeschichtung und Rheniummetallkantenverstärkung
Typisches Anwendungsszenario
Photovoltaikindustrie
Monokristalline Siliziumstab kontinuierliche Zeichnung: Geeignet für G12 großer Siliziumwaferproduktion, Unterstützung ≥ 500 kg Beladungskapazität
Topcon-Batterie vom Typ n-Typ: Ultra-niedrige Verunreinigungsmigration garantiert Minderheitenleben> 2 ms
Thermalfeldverbesserung: kompatibel mit Mainstream -Einzelkristallofenmodellen (PVI, Ferrotec usw.)
Semiconductor Manufacturing
8-12 Zoll monokristallines Siliziumwachstum der Halbleiter-Qualität
Spezielle dotierte Kristalle: Präzise Kontrolle der Bor/Phosphorverteilungsgleichmäßigkeit
Halbleiter der dritten Generation: Kompatibler SIC -Einfachkristallvorbereitungsprozess
Wissenschaftlicher Forschungsbereich
Forschung und Entwicklung von ultradünnen Siliziumwafern für Weltraum-Solarzellen
Wachstumstest für neue Kristallmaterialien (Germanium, Galliumarsenid)
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