TAC Coated Wafer Susceptor

Der VETEK -Halbleiter -TAC -beschichtete Wafer -Suszeptor ist eine Schlüsselkomponente, die in verwendet wirdMetall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD)Reaktoren fürSemiconductor Epitaxial (EPI) -Prozesse. Diese spezielle runde Basis besteht aus hochwertigem Graphit und wird mit einer Schicht aus Tantalcarbid (TAC) beschichtet, die für seine außergewöhnlichen thermischen und chemischen Eigenschaften bekannt ist.

Die primäre Funktion der TAC -Beschichtung besteht darin, die Leistung und Haltbarkeit des Wafer -Suszeptors unter den harten Bedingungen der Semiconductor -Herstellung zu verbessern. Tantal -Carbid ist berühmt für seine Härte, einen hohen Schmelzpunkt und herausragende Verschleißfestigkeit, was es zur idealen Schutzschicht macht. Diese Beschichtung schützt die zugrunde liegende Graphitbase aus den korrosiven chemischen Reaktionen und mechanischen SpannungenMocvd -ReaktorenVerlängerung der Lebensdauer der Ausrüstung und Verbesserung der Zuverlässigkeit.

Während des epitaxialen Wachstums von Halbleitermaterialien spielt der mit TAC beschichtete Wafer -Soldaten eine wichtige Rolle, indem er eine präzise Filmablagerung sicherstellt. Sein Widerstand gegen hohe Temperaturen und harte chemische Umgebungen ist für die genaue Produktion von Halbleitergeräten von entscheidender Bedeutung, sodass die Geräte stabil unter anspruchsvollen Prozessbedingungen funktionieren können.

Die Kombination von aGraphitkernUndTAC -Beschichtungsorgt für eine gleichmäßige Wärmeverteilung über den Suszeptor, was für die Verbesserung der Wiederholbarkeit und Qualität der während des MocvD -Prozesses gezüchteten Halbleiterschichten unerlässlich ist. Dieses fortschrittliche Materialdesign bietet nicht nur Haltbarkeit, sondern erfüllt auch die strengen Anforderungen der modernen Halbleiterherstellung für leistungsstarke elektronische Komponenten.

Als führender Lieferant und Hersteller von TAC-beschichteten Waferanpfängern setzt sich Vetek Semiconductor dafür ein, qualitativ hochwertige technische Lösungen für die Halbleiterindustrie zu liefern. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger vertrauenswürdiger Partner in China zu werden und zuverlässige, maßgeschneiderte Produkte anzubieten.

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