CVD -SIC -Beschichtung Epitaxy Susceptor

Vetekemicons CVD-SIC-Beschichtung Epitaxy Susceptor ist ein präzisionsmotorisiertes Werkzeug für die Verarbeitung der Halbleiter-Wafer. Diese SIC -Beschichtung Epitaxy Susceptor spielt eine wichtige Rolle bei der Förderung des Wachstums von Dünnfilmen, Epilayern und anderen Beschichtungen und kann die Temperatur und die Materialeigenschaften genau kontrollieren. Begrüßen Sie Ihre weiteren Anfragen.

BasicPhysikalische Eigenschaften der CVD -SIC -Beschichtung:

CVD SIC -Beschichtung Epitaxy Susceptor -Produktvorteile:

● Präzise Ablagerung: SUPPECTOR kombiniert ein hochthermisch leitendes Graphit -Substrat mit einer SIC -Beschichtung, um eine stabile Support -Plattform für Substrate (wie Sapphire, SIC oder GaN) bereitzustellen. Die hohe thermische Leitfähigkeit (wie SIC beträgt etwa 120 W/m · k) kann die Wärme schnell übertragen und eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Substratoberfläche sicherstellen, wodurch ein hohes Qualitätswachstum der epitaxialen Schicht fördert.

● Reduzierte Kontamination: Die vom CVD -Prozess erstellte SIC -Beschichtung weist eine extrem hohe Reinheit (Verunreinigungsgehalt <5 ppm) auf und ist sehr resistent gegen korrosive Gase (wie Cl₂, NH₃), wodurch eine Kontamination der epitaxialen Schicht vermieden wird.

● Haltbarkeit: SICs hohe Härte (MOHS-Härte 9,5) und Verschleißfestigkeit verringern den mechanischen Verlust der Basis während der wiederholten Verwendung und eignen sich für hochfrequente Halbleiterproduktionsprozesse.

Vetekemicon ist bestrebt, qualitativ hochwertige Produkte und Wettbewerbspreise bereitzustellen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

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