Aixtron G5+ Deckenkomponente

Galliumnitrid (GaN) ist ein breites Bandgap -Halbleitermaterial mit hervorragenden physikalischen Eigenschaften wie hoher Elektronenmobilität, elektrischem Feld mit hohem Abbruch und Elektronengeschwindigkeit mit hoher Sättigung. Es wird häufig in optoelektronischen Geräten (z. B. lichtemittierende Dioden, Laserdioden) und hochfrequente elektronische Hochleistungsgeräte (wie Stromverstärker) verwendet. Silizium (SI) ist ein häufig verwendetes Halbleiter-Substratmaterial mit den Vorteilen von niedrigen Kosten, großen Größe und Kompatibilität mit vorhandenen integrierten Kreislaufprozessen auf Siliziumbasis. Daher ist das Anbau von Gan -epitaxialen Schichten auf Si ein sehr wertvolles Forschungsthema. Die Aixtron G5+ -Serie ist eine der heißesten SI-basierten GaN-Epitaxialwachstumsgeräte, die derzeit viele wichtige Komponenten haben, und die Deckenkomponente ist eine der wichtigsten Komponenten.

Die Aixtron G5+ Deckenkomponente besteht aus SGL -Graphit. Die Hauptfunktion besteht darin, die Temperatur zu steuern und den niedrigsten Wärmefluss durch den Wafer zu gewährleisten.

 ●Temperatur Gleichmäßigkeitskontrolle: 

Die Aixtron G5+ Deckenkomponente trägt dazu bei, eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Reaktionskammer zu erreichen. Im Halbleiter-epitaxialen Wachstumsprozess ist die Temperaturgleichmäßigkeit für den Anbau hochwertiger epitaxieller Schichten von entscheidender Bedeutung. Es stellt sicher, dass die gleiche Oberflächentemperatur an allen Wafern oder Satellitenkomponenten erhalten werden kann, wodurch die Konsistenz der Wachstumsrate und Qualität des epitaxialen Materials an allen Standorten gewährleistet ist, wodurch die Prozessausbeute verbessert wird.

 ● Optimieren Sie das Wachstumsumfeld: 

Im Rahmen der Reaktionskammer bildet die Aixtron G5+ Deckenkomponente zusammen mit anderen Komponenten eine stabile Wachstumsumgebung. Es kann den Wärmeverlust verringern und die Temperatur in der Reaktionskammer stabiler gestalten, was dazu beiträgt, die Bedingungen für das epitaxiale Wachstum und die Reduzierung von epitaxialen Schichtdefekten und die durch Temperaturschwankungen verursachte Leistung nicht einheitlich zu steuern.

Aixtron G5+ Deckenkomponente ist eines der Mainstream -Produkte in der von Vetek Semiconductor ins Leben gerufenen Branche. Die Wahl von Vetek Semiconductor bedeutet eine Partnerschaft mit einem Unternehmen, das sich verpflichtet hat, die Grenzen der Innovation von Siliziumkarbidbeschichtung zu überschreiten. Mit einem starken Schwerpunkt auf Qualität, Leistung und Kundenzufriedenheit liefern wir Produkte, die nicht nur den strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie erfüllen, sondern übertreffen. Lassen Sie uns mit unseren fortschrittlichen Aixtron G5+ Deckenkomponentenlösungen mehr Effizienz, Zuverlässigkeit und Erfolg in Ihrem Geschäft erzielen.

Materialdaten von SGL 6510 Graphit:

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