Dieser Artikel beschreibt hauptsächlich die GaN-basierte Niedertemperatur-Epitaxial-Technologie, einschließlich der Kristallstruktur von GaN-basierten Materialien, 3. Epitaxiale Technologieanforderungen und -Lentationslösungen, die Vorteile der auf PVD-Prinzipien basierenden epitaxialen Technologie mit niedriger Temperaturen.
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