4 -Zoll -Isolierung starrer Filz - Körper

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Das isolierende starre Filz ist eine Art Verbunddämmmaterial, das speziell für die extreme Umgebung mit hoher Temperatur ausgelegt ist. Die Verwendung von Kohlefaser- und Kohlenstoff-Tuch-Laminierungsverfahren, kombiniert mit Carbonisierungs-/Graphitisierungstechnologie mit hoher Temperatur, hat eine ultrahoch-hohe Reinheit (Asche ≤ 10 ppm), eine hervorragende thermische Stabilität und mechanische Festigkeit. Das Material ist für die Verwendung in thermischen Isolationssystemen in Siliziumcarbid -Einzelkristallwachstumsöfen (SIC) ausgelegt, um die anspruchsvolle Anforderungen an die Wärmefeldgleichmäßigkeit, der Temperaturgradienten und der Verunreinigungskontrollanforderungen der Methode für physikalische Dampfübertragung (PVT) zu erfüllen.

Material- und Prozesseigenschaften

Verbundstruktur Design

Oberflächenkohlenstoff-Tuch-Verstärkung: Durch ein spezielles Verfahren zu Kohlefaserfilz- und Hochdichte-Kohlenstoff-Tuch-Verbundstoff, die Oberfläche zur Bildung einer dichten Schutzschicht bildet und effektiv hohe Temperaturluftwäsche und Faserabschuder verhindern, verringern Sie die Freisetzung von Verunreinigungen.

Multi-Layer-Integrationsprozess: Die Kernschicht ist Kohlefaserfilz, und das Graphitpapier oder das Kohlenstofftuch ist in die Mitte eingebettet. Nach der sekundären Hochtemperaturreinigung (≥2000 ℃) wird die Materialstruktur verdichtet und die Verunreinigungen tief entfernt.

Ultra-niedrige Verunreinigungsreinheit

Aschegehalt ≤ 10 ppm, stellen Sie sicher, dass es keine Metallionen, SiO₂ und andere Verunreinigungen in der Umgebung mit hoher Temperatur gibt, vermeiden, die Grenzfläche zwischen Kristallwachstum zu verschmutzen, die Reinheit von Siliziumcarbid -Einkristall- und Defekt -Kontrollpegel 19 zu verbessern.

Prozessanpassungsfähigkeit

Customisierte Oberflächenbehandlungen (z. B. Graphitfolienbeschichtung, Antioxidationsmittelbeschichtung), geeignet für Vakuum- oder Inertgas (AR, N₂), Betriebstemperaturen mit 1200 ° C bis 3000 ° C.

Kernleistungsparameter

Anwendungsfelder und Vorteile

Siliziumkarbid -Einkristallofen heißer Felddämmung

Als Kernmaterial der Ofendämmschicht kann es den Wärmeverlust verringern, den Temperaturgradienten des Wachstums der Wachstumsgrenzfläche (ΔT ~ 20-50 ° C) beibehalten und sicherstellen, dass die axiale/radiale Wachstumsrate von Kristallen ausgeglichen ist.

Wird mit weichem Filz verwendet, um eine Gradientenisolationsstruktur zu bilden, thermische Belastungen zu reduzieren und die Lebensdauer des thermischen Feldes zu verlängern.

Wettbewerbsvorteil

Wärmestabilität: Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE <2 × 10⁻⁶/℃), ausgezeichneter thermischer Schockwiderstand, geeignet für wiederholte Anstiegs- und Kühlbedingungen.

Wirtschaftswirtschaft: Im Vergleich zu traditionellem Soft Filz wird die Lebensdauer um das 3- bis 5-fache erhöht, was die Häufigkeit des Ersatzs und der Produktionskosten des Hot-Field-Ersatzes und der Produktionskosten verringert.

Anpassung: Unterstützungszylinder, Platten und andere Formen der Verarbeitung, dimensionale Genauigkeit bis zu ± 0,5 mm, geeignet für unterschiedliche Ofendesign.

Typischer Anwendungsfall

Vakuum Hochdruckgaslöschofen: Als Wärmeschild reduzieren Sie den Energieverbrauch um mehr als 20%

Großer SIC-Kristallwachstum: für 8-Zoll-Kristallöfen, Thermofeldgleichmäßigkeitsabweichung <1,5%