Materialien & Design

Die Auswahl der passenden Substrat- und Beschichtungskombination ist der Schlüssel zur Vermeidung vorzeitiger Komponentenausfälle, zur Reduzierung der Partikelkontamination und zur Maximierung der Waferausbeute. Wir bieten maßgeschneiderte Material- und Strukturdesignlösungen rund um das spezifische Prozessfenster des Kunden (Betriebstemperatur, reaktive Gaschemie, Rampenraten).

Unsere Kernkompetenzen im Bereich Design:

• Strenge CTE-Spannungsanpassung:Für schnelle Temperaturwechsel (>100 °C/min) passen wir die CTE-Temperaturkurven von hochreinen Graphitsubstraten und CVD-Beschichtungen genau an und reduzieren so das Risiko von Beschichtungsdelaminierungen und Mikrorissen grundlegend.
• Prozessszenariospezifische Beschichtungsauswahl:CVD-SiC-Beschichtung für Si/SiC-Epitaxie (Epi), MOCVD und Plasmaätzumgebungen; CVD-TaC-Beschichtung für höhere Temperaturen und stark korrosive Bedingungen (z. B. SiC-Einkristall-PVT-Wachstum).
• Kontrollierbare Widerstands- und Wärmeleitfähigkeitsoptimierung:Präzise Steuerung des Massenwiderstands und der Wärmeleitfähigkeit von Substrat und Beschichtung, um spezifische elektrische und thermische Feldanforderungen von elektrostatischen HF-, ESC-Haltern oder Heizzonen zu erfüllen.
• Kontaminationsquellenkontrolle und CoO-Reduzierung:Hochreine CVD-Abscheidungsschichten versiegeln porösen Graphit dicht und reduzieren so die Partikelabgabe, die Diffusion von Ultraspurenmetallverunreinigungen und das Risiko einer Ausgasung bei hohen Temperaturen erheblich.

Typischer Vergleich der Beschichtungsauswahl (Leitfaden auf einen Blick)

Echter Fall und Kundennutzen (Erfahrung):

Ein führender Hersteller von SiC-Epitaxie (Epi):Das ursprüngliche Bauteil verwendete eine nicht passende CVD-TaC-Beschichtung, was zu übermäßiger Grenzflächenspannung und häufigen Mikrorissen bei hohen Temperaturen führte. Wir führten thermodynamische Simulationen erneut durch und wechselten zu aCTE-angepasstes, hochreines Spezialgraphitsubstrat + Pufferschicht + CVD-SiC-BeschichtungLösung. Ergebnis: Die durchschnittliche Lebensdauer der Komponenten stieg von 200 Stunden auf 850 Stunden; Die jährliche Austauschhäufigkeit pro Werkzeug sank von 40 auf 9 Mal. Die Einsparungen bei den O&M-Kosten für umfassende Ausrüstung überstiegen RMB 650.000 pro Jahr.

GDMS-Reinheitsanalysebericht für TaC- und SiC-Beschichtungen

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