Was ist Tantal Carbid TAC -Beschichtung? - VetekemaMon

Was ist Tantal Carbid (TAC)?

Tantal Carbid (TAC) -Keramikmaterial hat einen Schmelzpunkt von bis zu 3880 ° C und ist eine Verbindung mit hohem Schmelzpunkt und guter chemischer Stabilität. Es kann eine stabile Leistung in Hochtemperaturumgebungen aufrechterhalten. Darüber hinaus weist es auch eine hohe Temperaturresistenz, eine chemische Korrosionsbeständigkeit sowie eine gute chemische und mechanische Kompatibilität mit Kohlenstoffmaterialien auf, was es zu einem idealen Graphit -Substrat -Schutzmaterial macht. 

Tantal -CarbidbeschichtungKann Graphitkomponenten effektiv vor den Auswirkungen von heißen Ammoniak-, Wasserstoff-, Siliziumdampf- und geschmolzenem Metall in harten Verwendungsumgebungen schützen, wodurch die Lebensdauer von Graphitkomponenten erheblich erweitert und die Migration von Verunreinigungen in Graphit gewährleistet istEpitaxialUndKristallwachstum.

Abbildung 1. Häufige, mit Tantal Carbid beschichtete Komponenten

Herstellung der TAC -Beschichtung nach CVD -Prozess

Die chemische Dampfabscheidung (CVD) ist die ausgereiftste und optimalste Methode zur Herstellung von TAC -Beschichtungen auf Graphitoberflächen.

Unter Verwendung von TaCl5 und Propylen als Kohlenstoff- bzw. Tantal-Quellen und Argon als Trägergas wird der Hochtemperaturdampf in die Reaktionskammer eingeführt. Bei der Zieltemperatur und -druck adsoriert der Vorläufermaterialdampf auf der Oberfläche von Graphit und wird einer Reihe komplexer chemischer Reaktionen wie Zersetzung und Kombination aus Kohlenstoff- und Tantalum-Quellen sowie einer Reihe von Oberflächenreaktionen wie Diffusion und Desorption von Nebenprodukten des Vorbildners unterzogen. Schließlich wird auf der Oberfläche des Graphits eine dichte Schutzschicht gebildet, die den Graphit unter extremen Umgebungsbedingungen vor stabiler Existenz schützt und die Anwendungsszenarien von Graphitmaterialien erheblich erweitert.

Abbildung 2.CVD -Prozessprinzip der chemischen Dampfablagerung (CVD)

Weitere Informationen zu den Prinzipien und zur Vorbereitung der CVD -TAC -Beschichtung finden Sie im Artikel:Wie erstellt man CVD TAC -Beschichtung?

Warum Vetekemicon wählen?

SemikonBietet hauptsächlich Tantal -Carbid -Produkte: TAC Guide Ring, TAC -beschichtete Dreiblatt -Ring,TAC -Beschichtung Tiegel, TAC -Beschichtung porous Graphit werden weit verbreitet verwendet, ist der SIC -Kristallwachstumsprozess; Poröser Graphit mit TAC -beschichtetem TAC -beschichtetem Führungsring,TAC Coated Graphit Wafer Carrier, TAC -Beschichtungsempfangen,Planetary SusceptorUnd diese tantalen Carbidbeschichtungsprodukte werden in großem Umfang verwendetSIC -EpitaxieprozessUndSIC -Einkristallwachstumsprozess.

Abbildung 3.TierarztEK Semiconductors beliebteste Tantal -Carbid -Beschichtungsprodukte