Optimierung und Massenproduktion

Die größte Herausforderung beim reibungslosen Übergang von der Einführung neuer Produkte (NPI) zur Großserienfertigung (HVM) ist die Konsistenz. Durch Prozessverriegelung, statistische SPC-Prozesskontrolle und eingehende Diagnose von vor Ort zurückgesendeten Teilen stellen wir sicher, dass die Qualität des 1.000sten Produkts nicht vom ersten Muster zu unterscheiden ist.

System zur Sicherung der Massenproduktion:

• CVD-Produktionskapazität mit großer Kapazität und gleichmäßiges Wärmefeld:Mehrere große, hochreine CVD-Reaktoren mit mehreren Zonen ermöglichen eine effiziente Abscheidung auf großen Graphitsubstraten und gewährleisten eine extrem hohe Konsistenz der Wärme- und Strömungsfelder während der Chargenproduktion.
• Strenge „kopiergenaue“ Kontrolle:Nach der Validierung der Massenproduktion werden Graphitrohmaterialchargen, CNC-Bearbeitungsrouten, Reinheit des CVD-Reaktionsgases, Rampenkurven der Ofentemperatur und Kammerdruck gesperrt, wodurch die Abweichungen von Charge zu Charge minimiert werden.
• SPC Statistische Prozesskontrolle:Vollständige Prozessüberwachung kritischer Kennzahlen wie Filmdickenverteilung, Oberflächenrauheit und spezifischer Widerstand während der Massenproduktion, um Kernparameter auf stabile Konvergenz mit vollständiger Datenrückverfolgbarkeit zu bringen.
• Detaillierte Diagnose von vor Ort zurückgesendeten Teilen:Arbeiten Sie mit Kunden zusammen, um eine mikroskopische Diagnose (REM + Querschnittsanalyse) von Teilen durchzuführen, die unter extremen Betriebsbedingungen zurückgegeben wurden, und lokalisieren Sie dabei genau lokale Verschleiß- und Spannungskonzentrationspunkte.
• Dynamische Feinabstimmung von Struktur- und Prozessrezepten:Basierend auf realen Kammerverschleißdaten optimieren Sie die Komponentengeometrie und die Parameter des Abscheidungsprozesses umgekehrt, um die Lebensdauer nachfolgender Chargen von der Quelle zu verlängern und so einen positiven Kreislauf zu bilden.

Echter Fall und Kundennutzen (Erfahrung):

Ein führender TOPCon-Hersteller von Photovoltaikzellen:Bei der Ersteinführung wiesen Graphit-Bootszubehörteile Unterschiede in der Filmdicke (±15 %) zwischen den Chargen auf, was sich auf die Gleichmäßigkeit der Beschichtung auswirkte. Wir haben die SPC-Überwachung des gesamten Prozesses eingeleitet und drei kritische Prozessparameter (Abscheidungstemperatur, Gasdurchflussrate, Kammerdruck) festgelegt.Innerhalb von 3 Wochen verringerte sich die Schwankung der Gleichmäßigkeit der Filmdicke von ±15 % auf ±3 %.Die Linie wurde mittlerweile stabil für mehr als 200 Chargen beliefert, wobei die Chargendurchlaufrate konstant über 99,2 % liegt, was dem Kunden hilft, die Waferbruchrate um 1,5 % zu reduzieren.

FAQ

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