MOCVD-Suszeptor mit TaC-Beschichtung

VETEK Semiconductor ist ein führender chinesischer Hersteller, Lieferant und Exporteur, der sich auf MOCVD -SURCEPTOR spezialisiert hatTAC -Beschichtung. Sie sind herzlich willkommen, in unsere Fabrik zu kommen, um die neuesten, preisgünstigsten und qualitativ hochwertigsten MOCVD-Suszeptoren mit TaC-Beschichtung zu kaufen. Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit Ihnen.

Die LED-Epitaxie steht vor Herausforderungen wie Kristallqualitätskontrolle, Materialauswahl und -anpassung, Strukturdesign und -optimierung, Prozesskontrolle und -konsistenz sowie Lichtextraktionseffizienz. Die Wahl des richtigen Epitaxie-Wafer-Trägermaterials ist von entscheidender Bedeutung, und die Beschichtung mit einem Tantalcarbid (TaC)-Dünnfilm (TaC-Beschichtung) bietet zusätzliche Vorteile.

Bei der Auswahl eines Epitaxie-Wafer-Trägermaterials müssen mehrere Schlüsselfaktoren berücksichtigt werden:

● Temperaturtoleranz und chemische Stabilität: LED -Epitaxienprozesse beinhalten hohe Temperaturen und können die Verwendung von Chemikalien beinhalten. Daher ist es notwendig, Materialien mit guter Temperaturtoleranz und chemischer Stabilität auszuwählen, um die Stabilität des Trägers in Hochtemperatur- und chemischen Umgebungen zu gewährleisten.

● Oberflächenflatheit und Verschleißfestigkeit: Die Oberfläche des Epitaxie-Waferträgers sollte eine gute Ebenheit aufweisen, um einen gleichmäßigen Kontakt und ein stabiles Wachstum des Epitaxie-Wafers zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Verschleißfestigkeit wichtig, um Oberflächenschäden und Abrieb zu verhindern.

● Wärmeleitfähigkeit: Die Auswahl eines Materials mit einer guten thermischen Leitfähigkeit hilft dabei, die Wärme effektiv abzuleiten, eine stabile Wachstumstemperatur für die Epitaxienschicht aufrechtzuerhalten und die Prozessstabilität und -konsistenz zu verbessern.

In dieser Hinsicht bietet die Beschichtung des Epitaxy -Wafer -Trägers mit TAC die folgenden Vorteile:

● Hochtemperaturstabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine ausgezeichnete Hochtemperaturstabilität auf, sodass sie ihre Struktur und Leistung während Hochtemperatur-Epitaxieprozessen beibehält und eine hervorragende Temperaturtoleranz bietet.

● Chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung ist beständig gegen Korrosion durch übliche Chemikalien und Atmosphären, schützt den Träger vor chemischem Abbau und erhöht seine Haltbarkeit.

● Härte und Verschleißfestigkeit: Die TAC -Beschichtung besitzt eine hohe Härte und den Verschleißfestigkeit, stärkt die Oberfläche des Epitaxy -Waferträgers, reduziert Schäden und Verschleiß und verlängert ihre Lebensdauer.

● Wärmeleitfähigkeit: Die TaC-Beschichtung weist eine gute Wärmeleitfähigkeit auf, unterstützt die Wärmeableitung, sorgt für eine stabile Wachstumstemperatur der Epitaxieschicht und verbessert die Prozessstabilität und -konsistenz.

Die Auswahl eines Epitaxy-Wafer-Trägers mit einer TAC-Beschichtung hilft daher bei der Bewältigung der Herausforderungen der LED-Epitaxie und erfüllt die Anforderungen der Hochtemperatur- und chemischen Umgebungen. Diese Beschichtung bietet Vorteile wie Hochtemperaturstabilität, chemische Stabilität, Härte und Verschleißresistenz und thermische Leitfähigkeit, die zur verbesserten Leistung, Lebensdauer und Produktionseffizienz des Epitaxy-Wafer-Trägers beiträgt.