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LED EPI
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LED EPI

Vetek Semiconductor ist ein führender Anbieter von TAC -Beschichtungen und SIC -Schicht -Graphitenteilen. Wir sind spezialisiert auf die Produktion von innovativen LED-EPI-Anfällern, die für LED-Epitaxienprozesse wesentlich sind. Ich freue mich auf Ihre weitere Beratung.

Als professioneller LED -EPI -SUPTOR -Lieferanten und -hersteller möchte Vetek Semiconductor Ihnen qualitativ hochwertige LED -EPI -Suszeptor bieten.


Vetekemicon's LED EPI SUPPTOR, ein hochmodernes Produkt für LED-Epitaxienwachstumsprozesse. Dieser qualitativ hochwertige Suszeptor dient als Waferträger für LED-Epitaxie, der das Wachstum von LED-epitaxialen Wafern wesentlich unterstützt und aufrechterhält.


LED -EPI -SUPPTOR hat eine ausgezeichnete hohe Wärmeleitfähigkeit und Hochtemperaturbeständigkeit. Normalerweise muss Suszeptor in einer Hochtemperaturumgebung (über 1000 ° C) arbeiten, und sein Material besteht aus Graphit- oder Siliziumkarbid. Diese Materialien haben hohe Schmelzpunkte (wie Graphit -Schmelzpunkt von etwa 3650 ° C) und eine hervorragende thermische Leitfähigkeit (wie Siliziumcarbid -Wärmeleitfähigkeit von etwa 120 W/m · k), was eine effiziente Wärmeübertragung gewährleistet.


Zusätzlich ist die Oberfläche des Vetekememicon -Suszeptors hoch flach, was einen engen Kontakt mit dem Substrat gewährleistet. Gleichzeitig dieGraphitoderSiliziumkarbidmaterialienSie haben auch eine signifikante chemische Inertheit, die Seitenreaktionen mit reaktiven Gasen (wie NH₃, TMGA usw.) vermeiden und die Kontamination der epitaxialen Schicht verhindern.


Der LED -EPI -SUPPECTOR enthält eine ausgezeichnete thermische Leitfähigkeit, die die Wärme effizient abgeleitet hat, um eine stabile Wachstumstemperatur für epitaxiale Wafer aufrechtzuerhalten. Dieses entscheidende Merkmal verbessert die Prozessstabilität und -konsistenz und gewährleistet ein konsistentes und qualitativ hochwertiges Wachstum. Um seine Leistung weiter zu verbessern, wird der LED -EPI -SUPTOREPOR mit einem Premium -Tantal -Carbid (TAC) -Dünnfilm beschichtet. DerTAC -Beschichtungerheblich verbessert die Haltbarkeit und Zuverlässigkeit des Produkts und sorgt für eine langlebige und optimale Leistung.


Der LED -EPI -Soldaten von Vetekemicon verfügt über eine nahtlose Kompatibilität mit verschiedenen LED -Epitaxiengeräten und -prozessen, was es zu einer vielseitigen Lösung für die wachsenden Anforderungen an epitaxiale Wafer macht. Gleichzeitig setzt sich Vetekemicon für fortschrittliche Technologie- und Produktlösungen für die technikalische Epitaxialverarbeitungstechnologie für Halbleiter ein. Wir freuen uns aufrichtig auf Ihre Beitritts.


Grundlegende physikalische Eigenschaften der TAC -Beschichtung:

Physikalische Eigenschaften der Tantal -Carbidbeschichtung
Dichte 14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsvermögen 0.3
Wärmeleitkoeffizient 6.3*10-6/K
Härte (HK) 2000 HK
Widerstand 1 × 10-5Ohm*cm
Wärmestabilität <2500 ℃
Graphitgröße ändert sich -10 ~ -20um
Dicke ≥ 20 um einen typischen Wert (35 € ± 10um)


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Überblick über die Semiconductor Chip Epitaxy Industry -Kette:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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