Auswahlhilfe

Die Auswahl der richtigen CVD-SiC-, TaC-Beschichtung oder festen SiC-Beschichtung bestimmt direkt die Partikelmenge und die Komponentenlebensdauer auf Epitaxie-/Ätzlinien. Dieser Artikel bietet klare Auswahlgrenzen nach Temperatur, Atmosphäre und Prozess, gepaart mit wichtigen Lösungen für den Geräteaustausch und wichtigen Kennzahlen, um Ihnen dabei zu helfen, schnelle Entscheidungen zu treffen und Risiken zu reduzieren.