Maßgeschneiderte Graphitheizung für die heiße Zone

Warum VETEK wählen?

  ●Extreme thermische Gleichmäßigkeit: VETEK-Heizgeräte werden einer präzisen Struktursimulation und Konstruktion unterzogen, um selbst in extremen Umgebungen bis zu 2200 °C eine hervorragende Temperaturkonstanz zu gewährleisten und so die Waferausbeute effektiv zu steigern.

  ●Sicherung hochreiner Materialien: Wir wählen strikt isostatisch hochreinen Graphit aus und halten den Aschegehalt auf extrem niedrigem Niveau, um eine Metallionenkontamination bei hohen Temperaturen aus der Quelle zu verhindern.

  ●Fortschrittliche Beschichtungstechnologie: Wir nutzen die Kernkompetenzen von VETEK und bieten optionale SiC-Beschichtungen (Siliziumkarbid) an. Dadurch wird die Oxidations- und Korrosionsbeständigkeit erheblich verbessert und eine längere Lebensdauer in rauen chemischen Gasumgebungen gewährleistet.

  ●Präzise Anpassung: Ob es sich um zylindrische, spiralförmige oder komplexe Scheibenstrukturen handelt, VETEK bietet hochpräzise Bearbeitung auf der Grundlage Ihrer technischen Zeichnungen, um eine perfekte Anpassung an Ihre Ausrüstung zu gewährleisten.

  ●Umfassender Logistikschutz: VETEK hat die fragile Natur von Graphit erkannt und sein Verpackungssystem verbessert. Unsere mehrschichtige Anti-Schock-Verstärkung sorgt dafür, dass beim internationalen Transport „keine Schäden“ entstehen, sodass keine Bedenken hinsichtlich Produktionsverzögerungen bestehen.

Kernanwendungsfelder

  ●Halbleiterepitaxie: Kern-Wärmefeldkomponenten für MOCVD-Geräte (kompatibel mit Mainstream-Modellen wie dem K465i).

  ●SiC-Kristallwachstum: Präzise thermische Feldsteuerung für das Wachstum von Siliziumkarbid und anderen Halbleitermaterialien mit großer Bandlücke.

  ●Hochtemperatur-Vakuumausrüstung: Weit verbreitet in Vakuumsinteröfen, Präzisionslötanlagen und hochwertigen Wärmebehandlungsgeräten.

  ●Substrate für fortschrittliche Beschichtungen: Ideales Basismaterial für CVD-SiC-, SiN- oder SiO-Beschichtungen.

Technische Spezifikationen

Wir unterstützen auch maßgeschneiderte Materialien mit höherem Reinheitsgrad für bestimmte Betriebsbedingungen.

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