Was ist ein elektrostatischer Chuck (ESC)?

Das elektrostatische Chuck (ESC), auch als elektrostatisches Chuck (ESC, E-Chuck) bekannt, ist ein Gerät, das das Prinzip der elektrostatischen Adsorption verwendet, um das adsorbierte Material zu halten und zu reparieren. Es ist für Vakuum- und Plasmaumgebungen geeignet. Seine Hauptfunktion besteht darin, Ultra zu adsorbenReinigen Sie dünne Blätter (wie Siliziumwafer) und halten Sie das adsorbierte Material in einer guten Flachheit, die auch die Verformung des adsorbierten Materials während des Prozesses hemmen kann und die Temperatur des Adsorbats einstellen kann.

Ein elektrostatisches Chuck (ESC) ist eine spezielle Art von Chuck, die elektrostatische Kraft verwendet, die Objekte (Werkstücke) halten, drücken und aufnimmt. Jedes Material trägt positive und negative Ladungen, die für das bloße Auge unsichtbar sind. Wenn das Material auf den ESC platziert wird und eine bipolare Spannung auf die internen Elektroden des ESC angelegt wird, bewegen sich positive und negative Ladungen innerhalb des Materials, um der Polarität der inneren Elektroden des ESC zu entsprechen. Diese Anziehungskraft zwischen ESC und dem Material wird als elektrostatische Kraft bezeichnet und ist auch das Grundprinzip hinter unseren Chucks.

Produktvorteile

Es hat einen breiten Betriebstemperaturbereich (-50 bis 700 ℃)

Diese elektrostatischen Saugbecher verfügen über eine ausgezeichnete Festigkeit, die thermische Leitfähigkeit und die thermische Stoßdämpferwiderstand und können sich durch die kontrolläre kontrolläre kontrolläre kontrolläre kontrollierende kontrollierende kontrollierende Kontrolle des NGK an einen weiten Temperaturbereich anpassen.

Hohe Korrosionsbeständigkeit

Diese elektrostatischen Saugnäpfe haben eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit gegen Halogengase.

Verarbeitung mit niedriger Teilchen

Die Behandlung mit niedriger Teilchen kann durch Oberflächenbehandlung und spezielle Reinigung erreicht werden

Hohe Reinheit

Produkte mit einer Reinheit von 99,9% oder höher sind ebenfalls verfügbar.

Heizfunktion

Das Einbettungstechnologie mit hoher Präzisionsheizelemente kann in die Heizungsfunktion integriert werden und die Wafertemperatur kann innerhalb von ± 1%gesteuert werden.

Kühlfunktion

Diese elektrostatischen Saugbecher haben eine extrem hohe Kühlleistung, indem Keramikplatten mit hoher thermischer Leitfähigkeit und Kühlplatten verbinden.

Funkfrequenzelektrode

Bulk -Metallelektroden können gleichzeitig eine stabile Waferklemm- und Funkfrequenzplasmaerzeugung liefern.

PArameter

1.Im Bereich der Halbleiter- und elektronischen Fertigung: Während des Halbleiter- und elektronischen Herstellungsprozesses werden elektrostatische Saugbecher verwendet, um dünne und fragile Siliziumwafer, Wafer usw. zu reparieren und zu handhaben, die in starker Adsorptionskräfte, keine mechanische Stress und einfacher Betrieb, was die Produktionseffizienz und die Produktqualität effektiv verbessert.

2. Glas- und Keramikindustrie: Während der Schneiden, Schleifen und Handhabung von Glas und Keramik können elektrostatische Saugbecher nicht-zerstörerische Betriebsvorgänge für spröde Materialien durchführen, wodurch die Produktbrennungsrate verringert wird.

3. Herstellung von Präzisionsmaschinen und optischen Komponenten: Für Präzisionsmaschinen und optische Komponenten können elektrostatische Saugbecher eine stabile Adsorptionskraft liefern, wodurch Verformungen oder Kratzer während der Verarbeitung verhindern.

4. Automatisierte Produktionslinien: In automatisierten Produktionslinien werden elektrostatische Saugnäpfbecher in der Positionierung, Handhabung und Montage von Teilen usw. häufig eingesetzt, wodurch der Grad der Automatisierung und Effizienz der Produktionslinie verbessert wird.