Chemischer Dampfablagerungsprozess fester Sic -Kantenring

CVD -Prozess solider Sic -Kantenring:

● Material: Der Fokussierring wird aus massivem SiC hergestellt, einem Keramikmaterial mit hoher Reinheit und Hochleistungs-Keramik. Es wird durch chemische Dampfablagerung hergestellt. Das massive SIC-Material bietet außergewöhnliche Haltbarkeit, Hochtemperaturbeständigkeit und hervorragende mechanische Eigenschaften.

●  Vorteile: Der CVD-SIC-Ring bietet eine hervorragende thermische Stabilität, wodurch seine strukturelle Integrität auch unter hohen Temperaturbedingungen beibehalten wird, die in trockenen Ätzprozessen auftreten. Seine hohe Härte sorgt dafür, dass die Resistenz gegen mechanischer Stress und Verschleiß zu einer längeren Lebensdauer führt. Darüber hinaus zeigt feste sic chemische Trägheit, schützt sie vor Korrosion und die Aufrechterhaltung seiner Leistung im Laufe der Zeit.

CVD -SIC -Beschichtung:

●  Material: CVD -SIC -Beschichtung ist eine dünne Filmabscheidung von sic unter Verwendung chemischer Dampfabscheidungstechniken (CVD). Die Beschichtung wird auf ein Substratmaterial wie Graphit oder Silizium angewendet, um die SIC -Eigenschaften an die Oberfläche zu liefern.

●  Vergleich: Während CVD -SIC -Beschichtungen einige Vorteile bieten, wie z. B. konforme Ablagerung für komplexe Formen und abstimmbare Filmeigenschaften, entsprechen möglicherweise nicht mit der Robustheit und Leistung von soliden SIC. Die Beschichtungsdicke, die kristalline Struktur und die Oberflächenrauheit können basierend auf den CVD -Prozessparametern variieren und die Haltbarkeit und Gesamtleistung der Beschichtung möglicherweise beeinflussen.

Zusammenfassend ist Vetek Semiconductor Solid Sic Focusing Ring eine außergewöhnliche Wahl für Trockenätzungsanwendungen. Sein solides SIC-Material gewährleistet eine hohe Temperaturbeständigkeit, hervorragende Härte und chemische Inertheit, was es zu einer zuverlässigen und lang anhaltenden Lösung macht. Während die CVD -SIC -Beschichtung Flexibilität bei der Ablagerung bietet, zeichnet sich der CVD -SIC -Ring aus, um nicht übereinstimmende Haltbarkeit und Leistung zu bieten, die für die anspruchsvollen trockenen Ätzprozesse erforderlich sind.

Physikalische Eigenschaften von festem sic