Wie verbessert die TAC -Beschichtung die Lebensdauer von Graphitkomponenten? - Vetek Semiconductor

CVD-Tantalcarbid-Beschichtungwird durch Aufdampfen von Tantalkarbid (TaC) auf der Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mithilfe des proprietären CVD-Verfahrens (Chemical Vapour Deposition) von VeTek Semiconductor hergestellt.

Tantal -Carbid (TAC) Beschichtungen verbessern die Lebensdauer von erheblichGraphitteiledurch mehrere Mechanismen, insbesondere in hochtemperaturen, hochkarrosiven Umgebungen wie Halbleiterherstellung und Kristallwachstum. 

Hier sind die spezifischen Gründe warumTAC -BeschichtungenVerbessern Sie die Haltbarkeit von Graphitteilen:

● Verbesserter Hochtemperaturwiderstand

Extrem hohe thermische Stabilität: TaC-Beschichtungen bleiben bei extrem hohen Temperaturen über 2000 °C stabil und können sogar bei 2200 °C effektiv arbeiten. Dank dieser hohen Temperaturtoleranz hält die Beschichtung der Erosion geschmolzener Metalle und chemischer Gase während der Halbleiterfertigung stand und verlängert so die Lebensdauer von Graphitteilen.

●  Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit

Chemische Erosionsbeständigkeit: TAC -Beschichtungen haben eine starke Resistenz gegen korrosive Gase wie Wasserstoff, Ammoniak und Siliziumdampf, die verhindern können, dass diese Gase das Graphit -Substrat korrodieren und das Risiko einer Beschädigung von Schäden an Graphitteilen in harten Umgebungen verringern. Dies bedeutet, dass während des Kristallwachstumsprozesses die Beschichtung Verunreinigungswanderung und die Kristallqualität und -ausbeute verbessern kann.

●  Verbesserte mechanische Eigenschaften

Gute Haftung und Temperaturwechselbeständigkeit: TaC-Beschichtungen haften stark auf dem Graphitsubstrat und stellen so sicher, dass sich die Beschichtung bei Hochtemperaturvorgängen nicht ablöst oder delaminiert. Darüber hinaus kann es aufgrund seiner hervorragenden Temperaturwechselbeständigkeit schnellen Temperaturwechseln standhalten, ohne dass es zu Rissen oder Abblättern kommt, was die Lebensdauer von Graphitteilen weiter verlängert.

● Verunreinigungsverschmutzung reduzieren

Ultrahohe Reinheit: TaC-Beschichtungen haben einen extrem niedrigen Gehalt an Verunreinigungen, was dazu beiträgt, Kontaminationsprobleme zu reduzieren, die unter Hochtemperaturbedingungen auftreten können. Indem sie verhindern, dass unerwünschte Verunreinigungen in die Epitaxieschicht wandern, verbessern TaC-Beschichtungen die Reinheit und Qualität des Kristallwachstumsprozesses erheblich.

●  Optimieren Sie das Wärmemanagement

Verbessern Sie die Wärmeleitfähigkeit und den spezifischen Widerstand: TaC-Beschichtungen haben eine relativ geringe Wärmeleitfähigkeit und einen relativ geringen spezifischen Widerstand, was den Einsatz in Heizgeräten und anderen Wärmemanagementkomponenten ermöglicht, um die Energieeffizienz zu verbessern und Energieverluste zu reduzieren. Diese Funktion verbessert nicht nur die Betriebseffizienz, sondern reduziert auch Materialermüdung und Schäden durch Überhitzung.