Siliziumkarbidbeschichtung

Unser sicbeschichteter Versiegelungsring für Epitaxie ist eine Hochleistungsdichtungskomponente, die auf Graphit- oder Kohlenstoffkohlenstoff-Kompositen basiert, die mit Hochpüren-Siliziumcarbid (sic) durch chemische Dampfabscheidung (CVD) beschichtet sind. Dies kombiniert die thermische Stabilität von Graphit mit der extremen Umweltresistenz. MBE).

Vetekemicon Single Wafer Epi Graphit Susceceptor ist für Hochleistungs-Siliziumcarbid (SIC), Galliumnitrid (GaN) und andere Halbleiter-Epitaxialprozesse der dritten Generation ausgelegt und ist der Kernkomponenten der hohen Voraussetzungen in der Massenproduktion.

Eine wichtige Komponente, die im Radierungsprozess für Waferherstellung verwendet wird, ist der Plasma -Ätzring, dessen Funktion es darin besteht, den Wafer an Ort und Stelle zu halten, um die Plasmadichte aufrechtzuerhalten und die Kontamination der Waferseiten zu verhindern.

Vetek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Lieferant von sic-beschichteten E-Chucks in China. SIC Coated E-Chuck ist speziell für den Gan-Wafer-Ätzprozess mit hervorragender Leistung und langer Lebensdauer konzipiert, um Ihre Semiconductor-Herstellung allgemein zu unterstützen. Unsere starke Verarbeitungsfähigkeit ermöglicht es uns, Ihnen den SIC -Keramik -Empfängnis zu bieten, den Sie möchten. Ich freue mich auf Ihre Erkundung.

VetekemeMon bietet Hochleistungs-SIC-ICP-Ätzplatten für Hochleistungs-ICP, die für ICP-Ätzanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Die einzigartigen Materialeigenschaften ermöglichen es ihm, sich in hohen Temperaturen, hohen Druck- und chemischen Korrosionsumgebungen gut abzubilden und in verschiedenen Ätzprozessen eine hervorragende Leistung und langfristige Stabilität zu gewährleisten.

Vetek Semiconductor Graphit Heating Unit ist eine leistungsstarke industrielle Heizlösung aus hochpurigem Graphitmaterial, die einen präzisen und effizienten Heizungseffekt ermöglichen. Die Graphit -Heizeinheit wird in Halbleiter, Elektronik, Keramik und anderen Feldern häufig verwendet. Begrüßen Sie Ihre weitere Anfrage.