CVD sic Focus Ring

Als Grundlage moderner elektronischer Geräte und Informationstechnologie ist die Halbleitertechnologie zu einem unverzichtbaren Bestandteil der heutigen Gesellschaft geworden. Von Smartphones über Computer, Kommunikationsgeräte, medizinische Geräte und Solarzellen stützen sich fast alle modernen Technologien auf die Herstellung und Anwendung von Halbleitergeräten.

Da die Anforderungen an die funktionale Integration und Leistung elektronischer Geräte weiter steigen, entwickelt sich die Halbleiterprozess -Technologie ständig weiter und verbessert sich. Als Kernverbindung in der Halbleitertechnologie bestimmt der Ätzprozess direkt die Struktur und Eigenschaften des Geräts.

Der Ätzprozess wird verwendet, um das Material auf der Oberfläche des Halbleiters genau zu entfernen oder anzupassen, um die gewünschte Struktur und den gewünschten Schaltungsmuster zu bilden. Diese Strukturen bestimmen die Leistung und Funktionalität von Halbleitergeräten. Der Ätzprozess kann eine Präzision auf Nanometerebene erreichen, was die Grundlage für die Herstellung von Hochdichte und integrierten Hochleistungsschaltungen (ICs) ist.

Der CVD -SIC -Fokusring ist eine Kernkomponente bei trockener Ätzen, die hauptsächlich zum Fokusma der Plasma verwendet wird, damit es eine höhere Dichte und Energie auf der Waferoberfläche aufweist. Es hat die Funktion, gleichmäßig Gas zu verteilen. Der Vetek -Halbleiter wächst die sic -Schicht für Schicht durch den CVD -Prozess und erhält schließlich den CVD -SIC -Fokusring. Der vorbereitete CVD -SIC -Fokusring kann die Anforderungen des Ätzprozesses perfekt erfüllen.

CVD sic Focus Ring ist hervorragend in mechanischen Eigenschaften, chemischen Eigenschaften, Wärmeleitfähigkeit, Hochtemperaturbeständigkeit, Ionenätzungswiderstand usw.

● Hochdichte reduziert das Ätzvolumen

● hohe Bandlücke und ausgezeichnete Isolierung

● Hohe Wärmeleitfähigkeit, niedriger Expansionskoeffizient und Hitzeschockwiderstand

● hohe Elastizität und gute mechanische Aufprallwiderstand

● hohe Härte, Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit

Vetek Semiconductor verfügt über die führenden CVD SIC -Fokusring -Verarbeitungsfähigkeiten in China. In der Zwischenzeit helfen uns Vetek Semiconductors reifen technisches Team und Verkaufsteam dabei, den Kunden die am besten geeigneten Focus -Ringprodukte zu bieten. Die Wahl von Vetek Semiconductor bedeutet eine Partnerschaft mit einem Unternehmen, das sich verpflichtet hat, die Grenzen von zu überschreitenCVD Silicon Carbid Innovation.

Mit einem starken Schwerpunkt auf Qualität, Leistung und Kundenzufriedenheit liefern wir Produkte, die nicht nur den strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie erfüllen, sondern übertreffen. Lassen Sie uns bei unseren fortschrittlichen CVD -Silizium -Carbide -Lösungen mehr Effizienz, Zuverlässigkeit und Erfolg in Ihrem Geschäft erzielen.

SEM -Daten von CVD SIC -Film

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung

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