Siliziumkarbidbeschichtung

Der CVD-beschichtete Wafer-Suszeptor von Vetekememon ist eine hochmoderne Lösung für Halbleiter-Epitaxienprozesse und bietet eine ultrahohe Reinheit (≤ 100ppb, ICP-E10-Zertifizierung) und außergewöhnliche thermische/chemische Stabilität für Kontaminationswachstum von Gan-, SIC- und SIC- und Silicon-Basis-Basis. Mit der Präzisions -CVD -Technologie entwickelt es, unterstützt 6 ”/8 Zoll/12 -Zoll -Wafer, sorgt für minimale thermische Spannung und stand extreme Temperaturen bis zu 1600 ° C.

Unser sic -beschichteter Planeten -Suszeptor ist eine Kernkomponente im Hochtemperaturprozess der Halbleiterherstellung. Sein Design kombiniert das Graphit -Substrat mit Siliziumcarbidbeschichtung, um eine umfassende Optimierung der Leistung des thermischen Managements, der chemischen Stabilität und der mechanischen Festigkeit zu erreichen.

Unser sicbeschichteter Versiegelungsring für Epitaxie ist eine Hochleistungsdichtungskomponente, die auf Graphit- oder Kohlenstoffkohlenstoff-Kompositen basiert, die mit Hochpüren-Siliziumcarbid (sic) durch chemische Dampfabscheidung (CVD) beschichtet sind. Dies kombiniert die thermische Stabilität von Graphit mit der extremen Umweltresistenz. MBE).

Vetekemicon Single Wafer Epi Graphit Susceceptor ist für Hochleistungs-Siliziumcarbid (SIC), Galliumnitrid (GaN) und andere Halbleiter-Epitaxialprozesse der dritten Generation ausgelegt und ist der Kernkomponenten der hohen Voraussetzungen in der Massenproduktion.

Eine wichtige Komponente, die im Radierungsprozess für Waferherstellung verwendet wird, ist der Plasma -Ätzring, dessen Funktion es darin besteht, den Wafer an Ort und Stelle zu halten, um die Plasmadichte aufrechtzuerhalten und die Kontamination der Waferseiten zu verhindern.

Vetek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Lieferant von sic-beschichteten E-Chucks in China. SIC Coated E-Chuck ist speziell für den Gan-Wafer-Ätzprozess mit hervorragender Leistung und langer Lebensdauer konzipiert, um Ihre Semiconductor-Herstellung allgemein zu unterstützen. Unsere starke Verarbeitungsfähigkeit ermöglicht es uns, Ihnen den SIC -Keramik -Empfängnis zu bieten, den Sie möchten. Ich freue mich auf Ihre Erkundung.