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TAC Coated Graphit Wafer Carrier
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TAC Coated Graphit Wafer Carrier

VeTek Semiconductor hat sorgfältig TaC-beschichtete Graphit-Waferträger für Kunden entwickelt. Es besteht aus hochreinem Graphit und einer TaC-Beschichtung, die für verschiedene Wafer-Epitaxie-Waferverarbeitungen geeignet ist. Wir sind seit vielen Jahren auf SiC- und TaC-Beschichtungen spezialisiert. Im Vergleich zur SiC-Beschichtung weist unser TaC-beschichteter Graphit-Waferträger eine höhere Temperaturbeständigkeit und Verschleißfestigkeit auf. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

Sie können sicher sein, maßgeschneiderte TaC-beschichtete Graphit-Wafer-Träger von VeTek Semiconductor zu kaufen. Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit Ihnen. Wenn Sie mehr wissen möchten, können Sie uns jetzt kontaktieren, wir werden Ihnen rechtzeitig antworten!

VeTek Semiconductor TaC-beschichteter Graphit-Waferträger interagiert direkt mit Wafern im Epitaxiereaktor und steigert so die Effizienz und Leistung. Mit der Option einer Siliziumkarbid- oder Tantalkarbid-Beschichtung bietet der VeTek Semiconductor TaC-beschichtete Graphit-Wafer-Träger eine längere Lebensdauer, bis zu 2-3 mal länger mit Tantalkarbid. Kompatibel mit verschiedenen Maschinenmodellen, einschließlich LPE-SiC-Epitaxieöfen, JSG- und NASO-Epitaxieöfen.

Vetek Semiconductor TAC-beschichteter Graphitträger sorgt für eine präzise Reaktion, Stöchiometrie, verhindert die Migration der Verunreinigung und hält die Temperaturstabilität über 2000 ° C über. Es zeigt einen bemerkenswerten Widerstand gegen H2, NH3, SiH4 und SI und schützt vor harten chemischen Umgebungen. Ungedeiner thermischen Schocks ermöglicht schnelle Betriebszyklen ohne Delaminierung zu beschichten.

Vetek Semiconductor TAC Coating garantiert die ultrahohe Reinheit, beseitigt Verunreinigungen und sorgt dafür, dass die konforme Abdeckung strenge dimensionale Toleranzen erfüllt. Mit den erweiterten Graphit -Verarbeitungsfunktionen von Vetek Semiconductor sind wir ausgestattet, um Ihre Anpassungsanforderungen zu erfüllen. Unabhängig davon, ob Sie Beschichtungsdienste oder umfassende Lösungen benötigen, ist unser Team von Experteningenieuren bereit, die perfekte Lösung für Ihre spezifischen Anwendungen zu entwerfen. Vertrauen Sie uns darauf, qualitativ hochwertige Produkte zu liefern, die auf Ihre Anforderungen und Erwartungen zugeschnitten sind.


PVT-Methode SiC-Kristallwachstum:

PVT method SiC Crystal Growth


Produktparameter des TAC -beschichteten Graphit -Waferträgers

Physikalische Eigenschaften der TAC -Beschichtung
Dichte 14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsvermögen 0.3
Wärmeleitkoeffizient 6,3 10-6/K
Härte (HK) 2000 HK
Widerstand 1×10-5Ohm*cm
Wärmestabilität <2500 ℃
Graphitgröße ändert sich -10~-20um
Beschichtungsdicke ≥20um typischer Wert (35um±10um)


VeTek Semiconductor Production Shop:

VeTek Semiconductor Production Shop


Überblick über die Semiconductor Chip Epitaxy -Industriekette:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot-Tags: TaC-beschichteter Graphit-Wafer-Träger
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