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TAC Coated Guide Ring
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TAC Coated Guide Ring

Der TAC-beschichtete Führungsring besteht aus hochwertiger Graphit- und TAC-Beschichtung. Bei der Herstellung von SIC -Kristallen nach PVT -Verfahren wird der TAC -beschichtete Guide -Ring von Vetek Halbleiter hauptsächlich zum Leitfaden und Steuerung des Luftstroms verwendet, den Einkristallwachstumsprozess optimiert und die Einkristallausbeute verbessert. Mit ausgezeichneter TAC -Beschichtungstechnologie haben unsere Produkte eine hervorragende Hochtemperaturfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit und gute mechanische Eigenschaften.


Der hochwertige TAC -beschichtete Leitfadenring wird vom chinesischen Hersteller Vetek Semiconductor angeboten. Kaufen Sie TAC Coated Guide Ring, der direkt mit niedrigem Preis von hoher Qualität ist.


Zusätzlich zu denCVD -TAC -BeschichtungWir haben auch mit einem japanischen Unternehmen zusammengearbeitet, um Sprühbeschichtungen auf Wasserbasis zu entwickeln, und die TAC-Beschichtungstechnologie dieser Methode hat eine hervorragende Leistung gezeigt, einschließlich Temperaturbeständigkeit über 2500 ° C und Resistenz gegen korrosive Gase. Die Beschichtungsdicke kann variabel im Bereich von 20 uM bis 200 uM eingestellt werden, um einen effektiven Schutz während langer Prozesse und hohen Zyklen zu gewährleisten. Außergewöhnliche Flexibilität beim Umgang mit beschichteten Komponenten unterschiedlicher Größen und Geometrie. Im Gegensatz zu CVD -Ablagerungs -TACs unterstützt diese Methode die Sanierung von Teilbeschichtungen und Komponenten und bleibt umweltfreundlich. Aufgrund der Verriegelung mit dem darunter liegenden porösen Graphit weisen unsere TAC -Beschichtungen eine ausgezeichnete mechanische Stabilität auf, die durch Kratzentests verifiziert ist. Die Beschichtung verursacht keine Kontamination, und der behandelte sic -Wafer ist frei von Oberflächenkontamination.


Vetekemicon TAC beschichtete Führungsringleistung und -funktionen:

● Hochtemperaturwiderstand, hohe Dichte und hohe Kompaktheit; Hervorragende Korrosionsbeständigkeit.

● Hohe Reinheit mit Verunreinigungsgehalt <5ppm.

● chemisch inertiertes Ammoniak- und Wasserstoffgasen bei hohen Temperaturen; Ausgezeichnete thermische Stabilität.


Vetekemicon TAC beschichtete Führungsringleistung und -funktionen:

● Kristallwachstum.

● Epitaxialreaktoren von Siliziumkarbid.

● Gasturbinenklingen.

● Hochtemperatur- und oxidationsresistente Düsen.


Produktbeschreibung:

TAC -Beschichtungist ein Hochtemperaturmaterial der nächsten Generation, das im Vergleich zu SIC überlegene thermische Stabilität aufweist. Es dient als korrosionsresistente, oxidationsresistente und peastresistente Beschichtung, die Umgebungen über 2000 ° C standhalten kann. In der Luft- und Raumfahrt häufig für ultrahohe Temperaturkomponenten sowie in der dritten Generation-Halbleiter-Einzelkristallwachstum und anderen Feldern verwendet.


SiC CRYSTAL GROWTH FURNACE


PVT -Methode SIC -Kristallwachstum

PVT method SiC Crystal Growth


Produktparameter des TAC -beschichteten Führungsrings

Physikalische Eigenschaften der Tantal -Carbidbeschichtung
Dichte 14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsvermögen 0.3
Wärmeleitkoeffizient 6.3 10-6/K
Härte (HK) 2000 HK
Widerstand 1 × 10-5Ohm*cm
Wärmestabilität <2500 ℃
Graphitgröße ändert sich -10 ~ -20um
Beschichtungsdicke ≥ 20 um einen typischen Wert (35 € ± 10um)


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Überblick über die Semiconductor Chip Epitaxy Industry -Kette:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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