TAC -beschichteter Ring

Veteksemi TAC Coated Ring ist eine Hochleistungskomponente, die auf Halbleiterherstellungsprozesse zugeschnitten ist. Die einzigartig gestaltete Tantal -Carbid -Beschichtung (TAC) verleiht dem Produkt hervorragende Hochtemperaturwiderstand, Korrosionsbeständigkeit und mechanische Stabilität und verbessert die Lebensdauer und Zuverlässigkeit von Graphitkomponenten in Halbleiterausrüstung erheblich.

Überlegene Leistung von Tantal -Carbidbeschichtungen:

● Ultrahohe Temperaturwiderstand: TAC-Beschichtungen können den extremen Temperaturen von bis zu 2200 ° C leicht standhalten und unter thermischen Schockumgebungen, die bei der Herstellung von Halbleiter häufig sind, stabil bleiben.

● Hervorragende chemische Stabilität: Die Beschichtung zeigt eine starke Resistenz gegen häufige korrosive Gase wie Wasserstoff, Ammoniak, Silan und Silizium, was das Substrat effektiv vor chemischer Angriff schützt.

● Ausgezeichnete mechanische Eigenschaften: Die TAC -Beschichtung hat eine hohe Härte, eine hohe Verschleißfestigkeit und eine gute thermische Schockfestigkeit und kann unter rauen Arbeitsbedingungen lange stabil arbeiten.

● Hervorragende Haftung: Die Beschichtung ist eng mit dem Graphit -Substrat verbunden, wodurch sich die Beschichtung effektiv abschämt und eine konsistente Leistung während der gesamten Lebensdauer des Produkts gewährleistet.

● Hohe Reinheit: Die von CVD erstellte TAC -Beschichtung hat eine extrem hohe Reinheit, die die Einführung von Verunreinigungen minimiert und eine saubere Prozessumgebung für die Herstellung von Halbleiter bietet.

Vorteile von Tantal -Carbid -beschichteten Ringen:

● Lebensdauer der Ausrüstung: TAC -Beschichtung blockiert effektiv chemische Reaktionen und Verunreinigungsdiffusion, wobei die Lebensdauer von Graphitkomponenten erheblich erweitert und die Wartungskosten gesenkt werden.

● Verbesserung der Produktionseffizienz: Der hohe Temperaturbeständigkeit und den Korrosionsbeständigkeit des Produkts ermöglichen es ihm, unter anspruchsvolleren Bedingungen zu arbeiten, den Produktionszyklus zu verkürzen und die Produktionskapazität zu steigern.

● Verbesserte Produktqualität: Die TAC -Beschichtung mit hoher Reinheit hilft bei der Verringerung der Kontamination und sorgt für die Qualität und Konsistenz von Halbleiterprodukten.

Vetek Semiconductor hat sich auf TAC -Beschichtungsprodukte spezialisiert, wie z.TAC -Beschichtung Chuck, TAC -Beschichtung Rotationsplatte, TAC -Beschichtung Subser, TAC Coated Wafer Susceptorfür viele Jahre. Unsere TAC -beschichteten Ringprodukte haben die Funktionen der Lebensdauer der verlängerten Geräte, einer verbesserten Produktionseffizienz und einer verbesserten Produktqualität. Gleichzeitig hat sich Vetek Semiconductor seit langem für fortschrittliche Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie verpflichtet. 

Aufgrund der unterschiedlichen chemischen Eigenschaften von Graphit- und Tantal -Carbidmaterialien übereinstimmt der Wärmeleitungskoeffizient nicht durch VETEK -Halbleiter bei hoher Temperatur durch ein bestimmtes Verfahren, um die Bildung von Tantalum -Carbid -Beschichtung teilweise auf der Oberfläche der Matrix zu fördern, und teilweise in die Grafitmatrix. Auf diese Weise ist die Tantal-Carbidbeschichtung durch In-situ-Wachstum in der Graphitmatrix eng verschachtelt, was die Bindungskraft zwischen der Beschichtung und der Matrix erheblich erhöht und effektiv das Schälen des Tantal-Carbid-Beschichts verhindert. Wir hoffen aufrichtig, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

Tantalum Carbid Coated Rings Shops: