8-Zoll-Epitaxie-Oberring mit CVD-Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung

Hauptmerkmale des 8-Zoll-SiC-Epi-Oberrings

● Hohe Reinheit: mindestens 99,9995 %. Metall wandert nicht in die Epi-Schicht. Dadurch bleibt die Konzentration der Waferträger dort, wo sie sein muss.

● Partikelunterdrückung: Die CVD-Struktur ist dicht. Keine Poren. Während das Werkzeug läuft, werden keine Partikel abgeworfen. Auf diese Weise erzielen Fabriken bessere Erträge.

● Hitzebeständigkeit: Der Ring bleibt bei 1500 °C stabil. Niedriger CTE (Wärmeausdehnung) bedeutet keine Verformung bei schnellen Aufheiz-/Abkühlzyklen.

● Chemische Stabilität: Das feste CVD-SiC widersteht H2- und HCl-Gasen. Es widersteht auch NH3. Es gibt keine Beschichtung, die sich ablösen lässt. In rauen CVD-Umgebungen verschlechtert es sich nicht.

● Lebensdauer der Komponenten: Die Oberfläche ist extrem hart. Es übersteht wiederholte chemische Reinigung mit HF/HCl. Dies reduziert die Austauschhäufigkeit. Es senkt auch die Gesamtbetriebskosten der Fabrik.

Technische Spezifikationen

Die Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke zwischen den Chargen wird auf 10 µm kontrolliert

Anwendungen

Der CVD-SiC-Epi-Oberring wird häufig verwendet in:

● Silizium-Epitaxie-Reaktoren (Si Epi).

● Siliziumkarbid-Epitaxie (SiC Epi)

● MOCVD-Systeme

● CVD-Abscheidungsausrüstung

Häufig kombiniert mit:

● Suszeptoren

● Waferträger

● Ringe vorwärmen

● Epitaxiereaktoren

Warum sollten Sie sich für den VETEK SiC Epi Top Ring entscheiden?

● Volle Fertigungskapazität: 

Von der Rohmaterialreinigung bis zur Präzisionsbearbeitung und CVD-Beschichtung kontrolliert VETEK den gesamten Produktionsprozess, um eine gleichbleibende Halbleiterqualität sicherzustellen.

● Hohe Genauigkeit: 

Wir verwenden eine Bearbeitung im Mikrometerbereich. Die CVD-Dicke ist sehr gleichmäßig. Dadurch funktioniert jeder Ring genau gleich.

FAQ

(1) Was macht der SiC-Epi-Oberring?

Der Ring verwaltet den Wärme- und Gasfluss. Dadurch wird sichergestellt, dass der dünne Film gleichmäßig über den Wafer wächst.

(2) Warum ist CVD-SiC besser als Graphit?

Graphit ist porös. Graphit hat Poren und gibt Gas ab. Festes CVD-SiC ist dicht und sauber. In korrosiven Werkzeugen hält es viel länger.

(3).Kann der 8-Zoll-SiC-Oberring individuell angepasst werden?

Ja. Wir bauen nach Ihren spezifischen Werkzeugzeichnungen. Wir können die Geometrie an Ihren Prozess anpassen.

(4).Welche Branchen nutzen SiC-Epitaxieringe?

Sie werden hauptsächlich in der Halbleiterfertigung eingesetzt, darunter Leistungsgeräte, HF-Geräte und die Herstellung von SiC-Wafern.