Elektrostatisches Spannfutter aus Aluminiumnitrid (AlN)-Keramik

1.Vorteile

• Hochreine AlN-Keramik mit einer Wärmeleitfähigkeit von bis zu ~180 W/m·K für effiziente Wärmeübertragung und Temperaturgleichmäßigkeit

• Starke elektrische Isolierung und hoher Volumenwiderstand unterstützen eine stabile Klemmung bei 1–3 kV (höhere Spannungen verfügbar)

• Kundenspezifische dielektrische Schichtmaterialien und Elektrodenlayouts: Coulomb oder Johnsen-Rahbek (JR); Einzel- oder Mehrzonenbetrieb

• Schnelle Spann- und Entspannleistung, typischerweise unter 0,1 Sekunde

• Mikrostrukturen mit Grübchen auf der Oberfläche bis zu einem Durchmesser von ca. 300 μm, wodurch die Kontaktfläche auf nur ca. 1 % reduziert wird.

• Hohe Ebenheitsfähigkeit; typische globale Ebenheit in der Größenordnung von 0,5–3 μm PV für Plattformen der 300-mm-Klasse

• Dichte Mikrostruktur mit nahezu keiner Wasseraufnahme und guter chemischer Beständigkeit für Prozessumgebungen

2.Typische Anwendungen

Elektrostatische Spannfutter aus Aluminiumnitrid-Keramik werden in Prozessschritten eingesetzt, die sowohl einen sicheren Waferhalter als auch ein kontrolliertes thermisches Verhalten erfordern:

• Trockenplasmaätzen (ICP / RIE) und verwandte Kammerprozesse

• CVD, PEALD, thermisches ALD und andere Dünnschichtabscheidungsstufen

• Annealing- und thermische Prozessmodule, die eine gleichmäßige Wafertemperatur erfordern

• Inspektions-, Mess- und Präzisionsbühnen, bei denen eine geringe Partikelbildung und eine stabile Klemmung von entscheidender Bedeutung sind

3.AlN-Materialqualitäten – Typische Eigenschaften

VeTek bietet mehrere Aluminiumnitrid-Qualitäten an, um Wärmeleitfähigkeit, mechanische Festigkeit und Kosten für ESC-Designs in Einklang zu bringen:

Einheiten: Wärmeleitfähigkeit in W/(m·K); Spannungsfestigkeit in kV/mm; Volumenwiderstand in Ω·cm (25 °C); Dielektrizitätskonstante bei 1 MHz. Die Werte sind typisch und können je nach Prozess und Teilegeometrie variieren.

4.Typische ESC-Designparameter

5.Warum Choose VeTek AlN Elektrostatische Spannfutter?

VeTek Semiconductor integriert fortschrittliche AlN-Keramik mit präziser ESC-Fertigung für Halbleiterkunden, die sowohl thermische Leistung als auch zuverlässige Klemmung benötigen:

• Mehrere AlN-Typen mit einer Wärmeleitfähigkeit von ~90 bis ~180 W/m·K zur Anpassung an die thermischen Prozessbudgets

• Flexibles Elektroden- und Dielektrikumdesign für Coulomb- oder JR-Klemmverhalten

• Genaue Kontrolle der Ebenheit, der Oberflächenmikrostruktur und der elektrischen Isolationsleistung

• Vollständiger Lebenszyklus-Support: Design, Neubau und mehrstufige Sanierung

Für Ätz-, Abscheidungs- und thermische Werkzeuge, bei denen eine gleichmäßige Wafertemperatur und eine saubere, wiederholbare Klemmung erforderlich sind, bieten die elektrostatischen Spannfutter aus Aluminiumnitrid-Keramik von VeTek eine leistungsstarke Keramikplattform, die durch anwendungsorientierte technische Unterstützung unterstützt wird.