CVD-SiC-beschichteter Graphit-Suszeptor für Wafer-Träger

1. Produktvorteile

• Hochreines Material:Das Graphitmaterial in Halbleiterqualität und die dichte SiC-Beschichtungsstruktur minimieren das Kontaminationsrisiko und verbessern die Zuverlässigkeit des CVD-SiC-beschichteten Graphitsuszeptors.
• Ausgezeichnete thermische Gleichmäßigkeit:Die optimierte Graphitstruktur und die SiC-Beschichtung sorgen für eine stabile Wärmeübertragung und eine gleichmäßige Wafer-Temperaturkontrolle.
• Überlegene chemische Beständigkeit:Die dichte SiC-Beschichtung bietet eine hohe Beständigkeit gegen Prozessgase und korrosive Umgebungen.
• Lange Lebensdauer:Hohe Härte und Verschleißfestigkeit verbessern die Haltbarkeit unter Hochtemperatur-Epitaxiebedingungen.
• Geringe Partikelerzeugung:Die dichte CVD-SiC-Oberfläche reduziert die Partikelfreisetzung und verbessert die Zuverlässigkeit des Waferprozesses.
• Kundenspezifische Designfähigkeit:Je nach Ausstattungsbedarf in verschiedenen Größen, Strukturen und Konfigurationen erhältlich.

2. Technische Spezifikationen

3. Bewerbungen

• SiC-Epitaxieprozess:Der Graphitsuszeptor wird als Waferträger in SiC-Epitaxiegeräten verwendet und unterstützt SiC-Substrate während des Hochtemperatur-Epitaxiewachstums.
• Silizium-Epitaxie-Prozess:Wird in Silizium-Epitaxiereaktoren zur Unterstützung von Wafern und zur Aufrechterhaltung stabiler thermischer Bedingungen eingesetzt.
• MOCVD-Epitaxie:VETEK-Graphitsuszeptoren eignen sich für MOCVD, LED-Epitaxie, GaN-Epitaxie, Siliziumepitaxie und andere Halbleiterherstellungsprozesse, die eine hervorragende thermische Gleichmäßigkeit und chemische Stabilität erfordern.
• Ausrüstung zur Halbleiterfertigung:Kompatibel mit verschiedenen Epitaxieplattformen, einschließlich LPE-Horizontalöfen, Aixtron, NuFlare und zugehörigen Halbleitergeräten.

4. Warum VETEK wählen?

VETEK bietet maßgeschneiderte CVD-SiC-beschichtete Graphitsuszeptorlösungen, die Graphitreinigung, Präzisionsbearbeitung, CVD-Beschichtung und Inspektionsfunktionen integrieren. Unsere Graphit-Suszeptorprodukte in Halbleiterqualität zeichnen sich durch hohe Reinheit, gleichmäßige Beschichtungsdicke, hervorragende thermische Leistung und lange Lebensdauer für anspruchsvolle Waferträgeranwendungen aus.