Sic beschichtete Pfannkuchen -Anfänger für LPE PE3061S 6 '' Wafer

Als professioneller Hersteller möchte Vetek Semiconductor Ihnen qualitativ hochwertige SIC -beschichtete Pfannkuchen -Anfänger für LPE PE3061S 6 '' Wafers zur Verfügung stellen.

Der Vetek Semiconductor Sic Coated Pancake Susceptor für LPE PE3061S 6 "Wafers ist ein kritisches Gerät, das bei Semiconductor -Herstellungsprozessen verwendet wird.

SiC-beschichteter Pancake-Suszeptor für LPE PE3061S 6-Zoll-Wafer Produktmerkmale:

Hochtemperaturstabilität: SiC weist eine ausgezeichnete Hochtemperaturstabilität auf und behält seine Struktur und Leistung in Hochtemperaturumgebungen bei.

Hervorragende Wärmeleitfähigkeit: SiC verfügt über eine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit und ermöglicht eine schnelle und gleichmäßige Wärmeübertragung für eine schnelle und gleichmäßige Erwärmung.

Korrosionsbeständigkeit: SIC besitzt eine ausgezeichnete chemische Stabilität, die Korrosion und Oxidation in verschiedenen Heizumgebungen widerspricht.

Einheitliche Heizverteilung: Der SIC-beschichtete Waferträger sorgt für eine gleichmäßige Heizverteilung und sorgt für eine gleichmäßige Temperatur über der Oberfläche des Wafers während des Erhitzens.

Geeignet für die Halbleiterproduktion: Si-Epitaxie-Waferträger werden häufig in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet, insbesondere für das Si-Epitaxiewachstum und andere Hochtemperatur-Erwärmungsprozesse.

Produktvorteile:

Verbesserte Produktionseffizienz: Der SiC-beschichtete Pancake-Suszeptor ermöglicht eine schnelle und gleichmäßige Erwärmung, verkürzt die Aufheizzeit und erhöht die Produktionseffizienz.

Sorgfältige Produktqualität: Einheitliche Heizverteilung sorgt für die Konsistenz während der Waferverarbeitung, was zu einer verbesserten Produktqualität führt.

Verlängerte Gerätelebensdauer: Das SIC -Material bietet eine hervorragende Wärmefestigkeit und chemische Stabilität und trägt zu einer längeren Lebensdauer des Pfannkuchen -Anfängers bei.

Customisierte Lösungen: SIC-beschichtete Suszeptor, SI Epitaxy Wafer Carrier können auf unterschiedliche Größen und Spezifikationen zugeschnitten werden, die auf den Kundenanforderungen basieren.

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung:

VeTek Halbleiterproduktionswerkstatt

Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie: