Sic beschichtete Graphit -Barrel -SUPTOR für EPI

✔ Reduzierte Kontamination: Die Inert -Natur von SIC verhindert, dass Verunreinigungen an der Suszeptoroberfläche einhalten und das Risiko einer Kontamination der abgelagerten Filme verringert.

✔ Erhöhte Erosionsresistenz: SIC ist erheblich widerstandsfähiger gegen Erosion als herkömmlicher Graphit, was zu einer längeren Lebensdauer für den Suszeptor führt.

✔ Verbesserte thermische Stabilität: SiC verfügt über eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit und hält hohen Temperaturen ohne nennenswerte Verformung stand.

✔ Verbesserte Filmqualität: Die verbesserte thermische Stabilität und die geringere Kontamination führen zu qualitativ hochwertigeren abgeschiedenen Filmen mit verbesserter Gleichmäßigkeit und Dickenkontrolle.

✔ LEDs in Gan

✔ Leistungselektronik

✔ Optoelektronische Geräte

✔ Hochfrequenztransistoren

✔ Sensoren

Produktparameter des SIC -beschichteten Graphit -Barrel -Suszeptors

        Hinweis: Vor dem Beschichten führen wir eine erste Reinigung durch, nach dem Beschichten führen wir eine zweite Reinigung durch.

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung