Fokusring zum Ätzen

Monokristalline Silizium -Ätzringe sind wesentliche Komponenten bei Halbleiter -Ätzungsprozessen, indem sie die Plasmaumgebungsstabilität aufrechterhalten, Geräte und Wafer schützen, die Ressourcennutzung optimieren und an fortgeschrittene Prozessanforderungen angepasst werden. Die Leistung wirkt sich direkt auf den Ertrag und die Kosten der Chipherstellung aus.

Der geätzte Fokusring, die Elektrode usw. (Kantentemperaturregler) sind die Kernverbrauchsabläufe, um die Gleichmäßigkeit der Plasma, die Temperaturregelung und die Wiederholbarkeit der Prozesse zu gewährleisten. Diese Komponenten sind genau in der Vakuumkammer der CVD-, Radier- und Filmausrüstung zusammengestellt und bestimmen direkt die Genauigkeit und Ausbeute des Ätzens von der Kante zur Mitte des Wafers.

Als Reaktion auf die strenge Nachfrage nach Materialeigenschaften in High-End-Herstellungsprozessen innoviert Veteksemi mit einem monokristallinen Silizium mit hohem Purity-Silizium mit einem Widerstand von 10-20 € · cm zur Herstellung von Fokussierungsringen und der Unterstützung von Verbrauchsmaterialien. Durch die kollaborative Optimierung der Materialwissenschaft, des elektrischen Designs und der Thermodynamik kann Veteksemi Fokussierringe und Unterstützung von Verbrauchsmaterialien herstellen. Übertreffen Sie die traditionellen Quarzlösungen umfassend, um Durchbruchsverbesserungen in Bezug auf Langlebigkeit, Genauigkeit und Kosteneffektivität zu erzielen.

Kernmaterialvergleich und Widerstandsoptimierung

Monokristallines Silicon Vs. Quarz

Product Core Advantage

1. Genauigkeit der Atomebene Prozessgenauigkeit

Widerstandsoptimierung + Ultra-Preszisionspolier (RA <0,1 μm) eliminiert Mikroentladung und Partikelkontamination, um die SEMI-F47-Standards zu erfüllen.

Der dielektrische Verlust (Tan & Dgr; <0,001) ist stark mit der dielektrischen Waferumgebung übereinstimmt, wobei die elektrische Feldverzerrung von Kanten vermieden und 3D -NAND 89,5 ° ± 0,3 ° vertikales Tiefenloch -Ätzen unterstützt wird.

2. Intelligente Systemkompatibilität

In integriert mit ETC -Randtemperaturregelmodul wird der Kühlluftstrom dynamisch durch Thermoelement und AI -Algorithmus eingestellt, um die Wärmedrift der Kammer auszugleichen.

Unterstützen Sie das kundenspezifische HF -Matching -Netzwerk, das für Mainstream -Maschinen wie Amat Centura, Lam Research Kiyo und ICP/CCP -Plasmaquellen geeignet ist.

3.. Umfassende Kosteneffizienz

Die Lebensdauer von monokristallinem Silizium ist 275% länger als die von Quarz, der Wartungszyklus beträgt mehr als 3.000 Stunden und die umfassenden Eigentumskosten (TCO) werden um 30% gesenkt.

Widerstandsgradientenanpassungsdienst (5-100 Ω · cm), genau das Kundenprozessfenster (z.

Die Wirkung des Widerstands

Produkt kommerzielle Begriffe

Mindestbestellmenge	1 Set
Preis	Kontakt für angepasstes Angebot
Verpackungsdetails	Standard -Exportpaket
Lieferzeit	Lieferzeit: 30-35 Tage nach Bestellbestätigung
Zahlungsbedingungen	T/t
Versorgungsfähigkeit	600 Sätze/Monat