Glasglocke aus Halbleiter-Quarz

SamenHalbleiterQuarz Bell Jarspielt mehrere Schlüsselrollen in der Halbleiterverarbeitung. Die Vakuumsystem für VakuumglockenEs bietet nicht nur eine stabile und kontrollierte Reaktionsumgebung, sondern stellt auch die Effizienz und Präzision verschiedener Prozesse durch ihre hervorragende thermische Stabilität, chemische Inertheit und optische Transparenz sicher. Diese Eigenschaften bestimmen auch dasGlockenvakuumkammerist ein unverzichtbares Komponentenprodukt im Halbleiterherstellungsprozess.

StiefelHalbleiterquarz Erstellt eine versiegelte Verarbeitungsumgebung, in der Prozessgase gleichmäßig verteilt werden und unter kontrollierten Bedingungen mit der Waferoberfläche reagieren. Daher,Glasglocke aus Halbleiter-Quarzwird normalerweise in Prozessen wie CVD, Diffusion und Oxidation verwendet, um die Zusammensetzung und den Druck der Atmosphäre genau zu steuern und so die Gleichmäßigkeit des Films und die Reinheit des Materials sicherzustellen.

Gleichzeitig weisen Quarzmaterialien eine hervorragende thermische Stabilität auf, hohe Temperaturwiderstand (die Hochtemperaturumgebung bei der Halbleiterverarbeitung beträgt normalerweise bis zu 1000 ° C oder mehr) und die Produkteigenschaften bei der Aufrechterhaltung einer stabilen Form und Größe während des Erhitzens und Abkühlens. Dies bestimmt, dass dieQuarz Bell Jarkann die Gleichmäßigkeit der Waferoberflächentemperatur in der Hochtemperaturumgebung der Diffusion und Oxidation vollständig gewährleisten und dadurch die Qualität und Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen oder diffundierten Schicht verbessern.

Noch wichtiger istHochreiner Quarz von Vetek Semiconductor reagiert in Hochtemperaturumgebungen nicht leicht mit Prozessgasen und weist eine starke Korrosionsbeständigkeit auf. Diese Produkteigenschaft bestimmt, dass bei Prozessen, bei denen korrosive Gase verwendet werden (z. B. einige CVD-Prozesse),Halbleiter Quarz Bell Jarkann die chemische Stabilität vollständig aufrechterhalten und so eine Kontamination von Halbleiterbauelementen vermeiden.

Es HalbleiterQuarz Bell Jar:

Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie: