Hochreiner, undurchsichtiger Quarzschutz und Verschluss für MOCVD

1. Technische Spezifikationen

Wir bieten hochpräzise Bearbeitungen auf der Grundlage Ihrer technischen Zeichnungen an, um eine perfekte Anpassung an Ihre spezifischen Gerätemodelle zu gewährleisten.

2. Kernanwendungsfelder

● MOCVD-Prozessschutz: Dient als wesentliche innere Abschirmung/Auskleidung zum Schutz der Reaktionsumgebung.

● Halbleiterepitaxie: Wird als hochpräziser Verschluss zur Strömungs- und Temperaturstabilisierung während des Dünnschichtwachstums verwendet.

● Herstellung von Halbleitern mit großer Bandlücke: Kompatibel mit Umgebungen mit hoher Nachfrage nach GaN und anderen fortschrittlichen Materialien.

3. Warum sollten Sie sich für Quarzlösungen von VETEK entscheiden?

● Überlegenes Wärmestrahlungsmanagement: Unser milchig-weißer Quarz enthält eine hohe Dichte an Mikrobläschen, die die Hochtemperatur-Wärmestrahlung (>1000 °C) wirksam streuen und blockieren. Es absorbiert sichtbares und nahinfrarotes Licht von Heizelementen und wandelt es in ferninfrarote Strahlung um, wodurch eine äußerst gleichmäßige Erwärmung gewährleistet wird.
● Kontaminationskontrolle und einfache Wartung: Als Opfer- oder austauschbare Innenauskleidung hält der Quarzschutz die Reaktionskammer sauber, indem er die Ablagerung von Nebenprodukten an teuren Kammerwänden und Heizungen verhindert. Diese Teile können durch Nassreinigung (z. B. SPM+DHF-Lösungen) regeneriert oder einfach ausgetauscht werden, um eine hohe Waferausbeute zu gewährleisten.
● Extreme chemische Beständigkeit: VETEK-Quarz ist so konstruiert, dass er häufigen Temperaturwechseln standhält und Korrosion durch organische Metalle (wie TMGa) und Hydride (wie AsH₃) widersteht.
● Präzise Prozesskontrolle: Unsere Quarzfensterläden behalten eine hohe Dimensionsstabilität bei Infrarot- oder Filamenterwärmung. Ihre geringe thermische Trägheit ermöglicht eine schnelle mechanische Reaktion, ermöglicht eine präzise Wachstumskontrolle auf „atomarer Ebene“ und verhindert Kreuzkontaminationen beim Multi-Wafer- oder Multiprozess-Switching.
● Kostengünstige Alternative: Für Projekte mit strengen Budgetanforderungen bieten unsere Quarzprodukte im Vergleich zu beschichtetem Graphit einen zuverlässigen Einstiegspunkt und bieten wesentlichen Schutz und Funktionalität für MOCVD-Systeme.