Hochreiner SiC-Wafer-Bootsträger

Der Wafer-Bootsträger aus hochreinem SiC von VeTekSemi ist eine wichtige Lagerkomponente, die in Glühöfen, Diffusionsöfen und anderen Geräten im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Hochreiner SiC-Wafer-Bootsträger besteht normalerweise aus hochreinem Siliziumkarbidmaterial und umfasst hauptsächlich die folgenden Teile:

• Bootsstützkörper: eine bügelähnliche Struktur, die speziell zum Tragen dientSiliziumwaferoder andere Halbleitermaterialien.

• Stützstruktur: Das Design der Stützstruktur ermöglicht es ihm, schwere Lasten bei hohen Temperaturen zu tragen und während der Behandlung mit hoher Temperatur nicht zu verformen oder zu beschädigen.

Siliziumkarbid-Material

Physikalische Eigenschaften vonRekristallisiertes Siliziumkarbid：

Wenn die Anforderungen an den Produktionsprozess höher sind,CVD -SIC -BeschichtungKann mit dem Hochreinheit -Waferbootträger durchgeführt werden, um die Reinheit von mehr als 99,9995%zu erreichen, was den hohen Temperaturwiderstand weiter verbessert.

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung:

Während der Hochtemperaturbehandlung ermöglicht der SIC -Wafer -Bootträger mit hoher Reinheit, dass der Siliziumwafer gleichmäßig erhitzt wird, um lokale Überhitzung zu vermeiden. Darüber hinaus ermöglicht es durch die hohe Temperaturbeständigkeit von Siliziumcarbidmaterial die strukturelle Stabilität bei Temperaturen von 1200 ° C oder sogar höher.

Während des Diffusions- oder Glühprozesses arbeiten das Cantilever Paddle und der hohe SIC -Wafer -Bootträger mit hoher Reinheit zusammen. Derfreitragendes Paddelschiebt den hochreinen SiC-Wafer-Bootsträger, der den Siliziumwafer trägt, langsam in die Ofenkammer und stoppt ihn an einer vorgesehenen Position für die Verarbeitung. 

Der Wafer-Bootsträger aus hochreinem SiC hält den Kontakt mit dem Silizium-Wafer aufrecht und wird während des Wärmebehandlungsprozesses in einer bestimmten Position fixiert, während das freitragende Paddel dabei hilft, die gesamte Struktur in der richtigen Position zu halten und gleichzeitig eine Temperaturgleichmäßigkeit zu gewährleisten.

Der Bootsträger mit hoher Reinheit SIC -Wafer und das Ausleger -Paddel arbeiten zusammen, um die Genauigkeit und Stabilität des hohen Temperaturprozesses zu gewährleisten.

VeTek Semiconductorbietet Ihnen maßgeschneiderte hochreine SiC-Wafer-Bootsträger entsprechend Ihren Anforderungen. Wir freuen uns auf Ihre Anfrage.

VeTek SemiconductorHochreinheit SIC -Waferbootträgerläden: