Sic beschichtete Siliziumkarbid -Waferboot

Vetek Semiconductor ist China Hersteller und Lieferant, der hauptsächlich sic beschichtete Silizium -Carbid -Waferboot mit langjähriger Erfahrung produziert. Ich hoffe, die Geschäftsbeziehung mit Ihnen aufzubauen. DiScaated Silicon Carbid Wafer Boat wird in Halbleiterdiffusionsöfen verwendet, um die Wafer für verschiedene Hochtemperaturprozesse wie Ionenimplantation, Diffusion und Tempern zu tragen. Es kann eine stabile Umgebung für die Wafer liefern und die Einheitlichkeit und Konsistenz der Temperatur während der Verarbeitung sicherstellen.

SiC-beschichtete Siliziumkarbid-Waferboote weisen eine höhere Hitzebeständigkeit und chemische Stabilität auf, wodurch sie bei höheren Temperaturen betrieben werden können und eine längere Lebensdauer bieten. Darüber hinaus weisen sie geringere Materialverdampfungsraten und Gasadsorptionsraten auf, was dazu beiträgt, die Auswirkungen von Verunreinigungen auf die Waferverarbeitung zu reduzieren.

Wir können verschiedene Arten von Silizium -Carbid -Waferboot herstellen, z.

Vorteile unseres hochreinen Siliziumkarbids:

1. Hochtemperaturstabilität

2. Chemical Inertness

3.Geringer Gehalt an Verunreinigungen

4. Thermische Leitfähigkeit

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

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