Photovoltaische Quarzboote

Maßgeschneiderte Leistung für extreme Prozessumgebungen

(1) Thermodynamische Stabilität bei 1100 °C – 1200 °C

Photovoltaisch-thermische Prozesse erfordern höchste Materialintegrität. VETEK verwendet hochreines Quarzglas, um sicherzustellen, dass unsere Produkte dem Dauerbetrieb bei extremen Temperaturen von 1100 °C bis 1200 °C standhalten.

 ● Thermoschockbeständigkeit: Der Bootskörper verfügt über einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und behält seine geometrische Integrität auch dann bei, wenn er während der automatischen Beladung häufigen und schnellen Temperaturwechseln ausgesetzt ist.

 ●Strukturelle Haltbarkeit: Überragende thermische Stabilität verhindert ein Durchhängen oder Verformen bei längerem Gebrauch und sorgt so für eine dauerhafte Genauigkeit der Roboter-Waferhandhabung (Transferpräzision).

(2) Submillimeterpräzise Schlitzsteuerung

Um eine vollkommen gleichmäßige Verteilung der Prozessgase (wie hochreiner Stickstoff oder Sauerstoff) über die Waferoberfläche zu erreichen, wenden wir bei jedem Schlitz Präzisionstechnik an:

 ●Luftstromoptimierung: Das perfekte äquidistante Schlitzdesign garantiert die Konsistenz des Strömungsfelds und führt zu einer äußerst gleichmäßigen Bildung des PN-Übergangs auf der Waferoberfläche.

 ●Stressreduzierung: Speziell feuerpolierte oder polierte Schlitzkanten minimieren das Risiko von Mikrorissen am Waferumfang erheblich und verbessern so direkt die Bruchkontrolle.

(3)Ultrahohe Reinheit für garantierte Ausbeute

Die Reinheit des Materials ist ein entscheidender Faktor für die Lebensdauer des Trägers. VETEK-Quarzboote gewährleisten Spitzenleistung durch:

 ●Premium-Materialauswahl: Der extrem niedrige Gehalt an metallischen Verunreinigungen verhindert eine sekundäre Kontamination der Siliziumwafer während der Hochtemperaturdiffusion.

 ●Chemische Inertheit: Unsere Boote bleiben in komplexen Dotierungsgasumgebungen chemisch stabil und widerstehen Reaktionen mit Prozessgasen, um eine makellose Produktionsumgebung aufrechtzuerhalten.

Warum sollten Sie VETEK als Ihren Partner wählen?

VETEK zeichnet sich durch die nahtlose Integration von Präzision auf Halbleiterniveau mit dem Maßstab der Photovoltaik-Massenproduktion aus. Wir wenden unsere umfassende Fertigungskompetenz von Quartz Wafer Boats auf die Solarindustrie an:

 ●Kompatibilität in voller Größe: Unterstützung für alle gängigen Solarwaferabmessungen, einschließlich M10 (182 mm) und G12 (210 mm).

 ●Maßgeschneiderte Technik: Ob für horizontale Diffusionsöfen oder PECVD-Geräte, wir bieten eine 1:1-Strukturoptimierung basierend auf Ihren firmeneigenen technischen Zeichnungen.

 ●Vielfältige Oberflächenbehandlungen: Wir bieten verschiedene Oberflächen an, darunter feuerpoliert (für Glätte) und sandgestrahlt (für Ablagerungsbeständigkeit), um den spezifischen Anforderungen an die Prozesslebensdauer gerecht zu werden.