Produkte

CVD-SiC-Beschichtungsdüsen sind entscheidende Komponenten, die im LPE-SiC-Epitaxieprozess zur Abscheidung von Siliziumkarbidmaterialien während der Halbleiterherstellung verwendet werden. Diese Düsen bestehen typischerweise aus hochtemperaturbeständigem und chemisch stabilem Siliziumkarbidmaterial, um Stabilität in rauen Verarbeitungsumgebungen zu gewährleisten. Sie sind für eine gleichmäßige Abscheidung konzipiert und spielen eine Schlüsselrolle bei der Kontrolle der Qualität und Gleichmäßigkeit epitaktischer Schichten, die in Halbleiteranwendungen erzeugt werden. Begrüßen Sie Ihre weitere Anfrage.

Der verwendete CVD -SIC -Beschichtungsschutz von Vetek Semiconductor ist eine LPE -SIC -Epitaxie. Der Begriff "LPE" bezieht sich normalerweise auf Niederdruck -Epitaxie (LPE) bei chemischer Dampfabscheidung mit niedrigem Druck (LPCVD). In der Semiconductor -Herstellung ist LPE eine wichtige Prozesstechnologie zum Anbau von Einkristall -Dünnfilmen, die häufig zum Anbau von Silizium -epitaxialen Schichten oder anderer Halbleiter -Epitaxialschichten verwendet werden.

Vetek Semiconductor ist professionell in der Herstellung von CVD-SiC-Beschichtungen und TaC-Beschichtungen auf Graphit- und Siliziumkarbidmaterialien. Wir bieten OEM- und ODM-Produkte wie SiC-beschichtete Sockel, Wafer-Träger, Wafer-Chuck, Wafer-Trägerschalen, Planetenscheiben usw. an. Mit einem Reinraum- und Reinigungsgerät der Güteklasse 1000 können wir Ihnen Produkte mit Verunreinigungen unter 5 ppm liefern. Wir freuen uns auf Ihre Nachricht bald von Dir.

Vetek Semiconductor zeichnet sich durch die enge Zusammenarbeit mit Kunden aus, um maßgeschneiderte Designs für SiC-Beschichtungs-Einlassringe zu erstellen, die auf spezifische Anforderungen zugeschnitten sind. Diese Einlassringe mit SiC-Beschichtung wurden sorgfältig für verschiedene Anwendungen wie CVD-SiC-Geräte und Siliziumkarbid-Epitaxie entwickelt. Für maßgeschneiderte Einlassringlösungen mit SiC-Beschichtung wenden Sie sich bitte an Vetek Semiconductor, um individuelle Unterstützung zu erhalten.

Vetek Semiconductor ist auf eine Partnerschaft mit seinen Kunden spezialisiert, um maßgefertigte Designs für Wafer Carrier Tably zu produzieren. Die Wafer-Trägertablett kann für die Verwendung in CVD-Silizium-Epitaxie, III-V-Epitaxie und III-Nitrid-Epitaxie, Siliziumkarbid-Epitaxie, ausgelegt werden. Bitte wenden Sie sich an Vetek Semiconductor bezüglich Ihrer Susceceptor -Anforderungen.

Vetek Semiconductor ist ein professioneller China -Hersteller und Lieferant, der hauptsächlich sicbeschichtete Stützringe, CVD -Siliziumcarbid (sic) -beschichtungen, Tantal -Carbid (TAC) -Lehbeschichtungen (TAC) produziert. Wir sind bestrebt, perfekte technische Unterstützung und ultimative Produktlösungen für die Halbleiterindustrie zu bieten und uns willkommen zu kontaktieren.