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Das poröse Sic Ceramic Chuck von Vetekememon ist eine präzisionsmotorierte Vakuumplattform, die für die sichere und partikelfreie Waferhandhabung in fortschrittlichen Halbleiterprozessen wie Ätzen, Ionenimplantation, CMP und Inspektion entwickelt wurde. Es wird aus porösem Siliziumcarbid mit hohem Purity hergestellt und bietet hervorragende thermische Leitfähigkeit, chemische Resistenz und mechanische Festigkeit. Mit anpassbaren Porengrößen und -abmessungen liefert Vetekemicon maßgeschneiderte Lösungen, um den strengen Anforderungen der Reinraum -Wafer -Verarbeitungsumgebungen gerecht zu werden.

Unsere Quarzwaferboote sind hochreinheitliche Wafer-Trägerlösung, die auf Halbleiter-, LED-, Solarzellen- und Batterieherstellungsprozesse zugeschnitten sind. Dieses Quarzboot ist entwickelt, um hohe Temperaturen und chemisch aggressive Umgebungen zu ertragen, und verfügt über eine geringe thermische Ausdehnung, eine hervorragende elektrische Isolierung und langfristige dimensionale Stabilität. Ideal für Diffusions-, Oxidations- und LPCVD -Prozesse unterstützt es eine präzise Waferausrichtung und ist in verschiedenen Größen erhältlich, um unterschiedliche Geräteanforderungen zu erfüllen.

Vetekemicon Sic Cantilever Paddles sind hochpurige Silizium-Carbid-Stützarme, die für die Waferhandhabung in horizontalen Diffusionsöfen und epitaxialen Reaktoren ausgelegt sind. Mit außergewöhnlicher thermischer Leitfähigkeit, Korrosionsbeständigkeit und mechanischer Stärke sorgen diese Paddel bei der anspruchsvollen Halbleiterumgebung. Erhältlich in benutzerdefinierten Größen und optimiert für eine lange Lebensdauer.

Der SIC-Block von Vetekememon ist für hocheffizientes Schleifen und Ausdünnen von Silizium- und Saphir-Wafern ausgelegt. Mit ausgezeichneter thermischer Leitfähigkeit (≥120 W/m · k), hoher thermischer Schockwiderstand und überlegener Verschleißfestigkeit (MOHS ≥ 9) verbessern unsere Blöcke die Prozessstabilität und reduzieren die Frequenz der Werkzeugeänderung. Erhältlich in Größen von 120 mm bis 480 mm, mit maßgeschneiderten Optionen und schneller Lieferung, um den unterschiedlichen Produktionsanforderungen zu erfüllen.

Der von Vetekememon in fortgeschrittene Halbleiterprozesse wie MOCVD, LPCVD und Hochtemperature Annealing. Mit einer gleichmäßigen CVD-SIC-Beschichtung sorgt dieser Waferhalter für eine außergewöhnliche thermische Leitfähigkeit, chemische Inertheit und mechanische Festigkeit-wesentlich für die Verarbeitung mit kontaminationsfreier, hochrangiger Wafer.

Vetekemicon High-Purity-SIC-Kantenringe, speziell für Halbleiter-Ätzgeräte ausgelegt, verfügen