Vakuum-Heißpressofen zum Binden von Siliziumkarbid-Keimkristallen

Die SiC-Seed-Bonding-Technologie ist einer der Schlüsselprozesse, die sich darauf auswirkenKristallwachstum.VETEK hat ein spezialisiertes entwickeltVakuum-Heißpressofenzur Saatgutbindung basierend auf den Eigenschaften dieses Prozesses. Der Ofen kann verschiedene Fehler, die während des Keimbindungsprozesses entstehen, effektiv reduzieren und so die Ausbeute und die Endqualität des Kristallbarrens verbessern.

Einführen

1.Der Ofen wird vorher zur Saatbindung verwendetSiC-Kristallwachstum

2. Das gebundene Saatgut kann bei einer Temperatur von 2300 °C fest haften und behält so eine 100-prozentige Haftung ohne Luftblasen bei hoher Ebenheit, sauberer Oberfläche des Saatguts und ohne adsorbierte Verunreinigungen bei

3. Die beheizte Plattenform verfügt über eine spiralförmige, gleichmäßige Heizzone mit Widerstandsheizung, ist sicher in der Anwendung und einfach zu bedienen

4. Die Unterseite der Lastplattform ist mit Kraftsensoren ausgestattet, die den Abtrieb auf das Werkstück präzise anzeigen 

Funktionseinführung

1.Die wassergekühlte Metallkammer der Doppelwand reduziert effektiv die Außenoberflächentemperatur des Ofenkörpers, minimiert Schäden durch hohe Temperaturen und verringert die Auswirkungen auf die Umwelt.

2.Es kann eine automatische Erhöhung des Abtriebs und der Haltekraft, eine langsame Ladekraft und eine automatische Steuerung der Verschiebung erreicht werden.

3. Es stehen verschiedene Vakuumkonfigurationen zur Verfügung, und je nach Prozess können unterschiedliche Vakuumniveaus ausgewählt werden.

4. Gleichmäßiger Druck und hohe Temperaturregelgenauigkeit.

5. Die Abtriebsstruktur verfügt über ein präzises mechanisches Schubdesign, das einen präzisen und stabilen Abtrieb, eine sichere Nutzung und Umweltfreundlichkeit gewährleistet.

6. Der Abwärtsstempel ist auf „universelle“ Weise mit der Schubstange verbunden. Es wird sichergestellt, dass die Oberfläche des Niederdruckstempels beim Andrücken des Werkstücks parallel zur Oberfläche der beheizten Plattenform verläuft, um sicherzustellen, dass das Werkstück eine gleichmäßige Anpresskraft ausübt.

7. Der Abwärtsstempel hat die Funktion, den Abtrieb beim Laden zu puffern und für einen gleichmäßigen und weichen Abtrieb ohne Stöße zu sorgen, um so Risse im Werkstück zu verhindern.

9. Sowohl die beheizte Plattform als auch der Abtriebsstempel sind mit einem Wärmeisolationsschild ausgestattet, um den ineffektiven Temperaturverlust zu reduzieren.

Parameter

Besonderheit

1. Langsames Vakuumpumpen, Vakuumpumprate einstellbar

2. Große Kammer, großer Upgrade-Raum

3.Der Abwärtsstempel läuft stabil und arbeitet automatisch

4. Die langsame Entlastung und langsame Erhöhung des Abtriebs, die Abtriebsrampe gemäß der automatischen Steuerung des Rezepts

5. Präzise programmierte Steuerung von Temperatur und Abtrieb

6. Die Parameter Vakuum, Abtrieb und Temperatur können frei eingestellt werden, um sie an verschiedene Klebeprozesse anzupassen

7. Die Verklebung ist verdichtet und blasenfrei

8. Die Rissrate ist extrem niedrig, und es gibt fast keine Risse, die durch Geräteprobleme verursacht werden

9.Kompatibel mit der Samenbindung von 6-12 Zoll

10.Max. Abtrieb: 1,6 T

11. Endvakuum: 5 Pa (kalt)

12. Temperaturgleichmäßigkeit der beheizten Plattform: <±3℃, σ<4 (200℃)

13. Druckschwankungen: <0,5 %