Produkte

Das Siliziumkarbid-Cantilever-Paddel von Veteksemicon wurde für die fortschrittliche Waferverarbeitung in der Halbleiterfertigung entwickelt. Es besteht aus hochreinem SiC und bietet hervorragende thermische Stabilität, hervorragende mechanische Festigkeit und hervorragende Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und korrosiven Umgebungen. Diese Funktionen gewährleisten eine präzise Waferhandhabung, längere Lebensdauer und zuverlässige Leistung in Prozessen wie MOCVD, Epitaxie und Diffusion. Willkommen zur Beratung.

Veteksemicon SiC-Keramik-Vakuumspannfutter für Wafer wurde entwickelt, um außergewöhnliche Präzision und Zuverlässigkeit bei der Halbleiter-Wafer-Verarbeitung zu bieten. Es wird aus hochreinem Siliziumkarbid hergestellt und gewährleistet eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, chemische Beständigkeit und hervorragende mechanische Festigkeit, wodurch es sich ideal für anspruchsvolle Anwendungen wie Ätzen, Abscheiden und Lithographie eignet. Seine ultraflache Oberfläche garantiert eine stabile Waferunterstützung, minimiert Defekte und verbessert die Prozessausbeute. Dieses Vakuumspannfutter ist die bewährte Wahl für das Hochleistungs-Wafer-Handling.

Der solide SiC-Fokusring von Veteksemi verbessert die Gleichmäßigkeit des Ätzens und die Prozessstabilität erheblich, indem er das elektrische Feld und den Luftstrom am Waferrand präzise steuert. Es wird häufig in Präzisionsätzprozessen für Silizium, Dielektrika und Verbindungshalbleitermaterialien eingesetzt und ist eine Schlüsselkomponente zur Gewährleistung der Massenproduktionsausbeute und eines langfristig zuverlässigen Gerätebetriebs.

In den kritischen Schritten Waferreinigung, Ätzen und Nassätzen ist ein hochreines Quarzbad mehr als nur ein Behälter; Es ist die erste Verteidigungslinie für den Prozesserfolg. Metallionenverunreinigungen, Thermoschockrisse, chemische Angriffe und Partikelrückstände sind versteckte Ursachen für Ertragsschwankungen. Veteksemi ist tief in der Herstellung von Quarz in Halbleiterqualität verwurzelt. Jedes von uns hergestellte Quarzbad ist darauf ausgelegt, kompromisslose Zuverlässigkeit und Sauberkeit für Ihre hochmodernen Prozesse zu gewährleisten.

Unser Roboterarm des Siliciumcarbids (SIC) ist für die Handhabung von Hochleistungswafern in der Herstellung fortschrittlicher Halbleiter ausgelegt. Dieser Roboterarm aus hohem Siliziumcarbid aus hoher Purität bietet einen außergewöhnlichen Widerstand gegen hohe Temperaturen, Plasmakorrosion und chemische Angriffe, um einen zuverlässigen Betrieb in anspruchsvollen Reinraumumgebungen zu gewährleisten. Die außergewöhnliche mechanische Festigkeit und die dimensionale Stabilität ermöglichen eine präzise Handhabung des Wafers und minimieren Kontaminationsrisiken und machen es zu einer idealen Wahl für MOCVD, Epitaxie, Ionenimplantation und andere Anwendungen für kritische Waferhandhabungen. Wir begrüßen Ihre Anfragen.

Vetekemicon ist auf die Bereitstellung maßgeschneiderter Quarzwafer -Bootsprodukte für die Halbleiterindustrie spezialisiert. Unsere Produktlinie umfasst Halbleiter-Fusions-Quarzglasboote, Quarzdiffusionsboote und maßgeschneiderte Quarz-Annealing-Boote, die bei hohen Präzisionsprozessen wie Diffusion, Oxidation und CVD häufig verwendet werden. Vetekemicon besteht darauf, umfassende kundenspezifische Dienstleistungen von Produkten und Technologien bereitzustellen. Ich freue mich auf Ihre weitere Beratung.