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Mit Pyrolytischem Kohlenstoff (PyC) beschichteter Graphitring
  • Mit Pyrolytischem Kohlenstoff (PyC) beschichteter GraphitringMit Pyrolytischem Kohlenstoff (PyC) beschichteter Graphitring

Mit Pyrolytischem Kohlenstoff (PyC) beschichteter Graphitring

In SiC-PVT-Kristallzüchtungsanlagen werden Graphitteile über lange Zeiträume bei sehr hohen Temperaturen betrieben. Der PyC-beschichtete Graphitring von VeTek ist für diese Art von Einsatz konzipiert. Per CVD wird eine pyrolytische Kohlenstoffschicht auf hochreinem Graphit abgeschieden. Dadurch erhält das Teil eine bessere Oberflächenstabilität und es lösen sich im Betrieb weniger Partikel. Normalerweise platzieren Sie es im Wärmefeldbereich, um die Dampfströmung und die Wärmeausbreitung im Ofen zu steuern. Die Beschichtung verlangsamt außerdem die Graphitsublimation bei Temperaturen über 2200 °C, was die Lebensdauer des gesamten Bauteils verlängert.
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Produktbeschreibung

1. Produktmerkmale

● Dichte, porenfreie PyC-Beschichtung: Bildet eine gleichmäßige, dichte Schicht, die die Gasdurchlässigkeit und Partikelkontamination während des Kristallwachstums verringert.
● Bewältigt hohe Temperaturen gut: Bleibt im Vakuum oder in Inertgas über 2200 °C strukturell stabil.
● Sehr hohe Reinheit: Hergestellt aus gereinigtem Graphitplus hochreines CVD, sodass der Verunreinigungsgrad extrem niedrig bleibt.
● Gute Temperaturwechselbeständigkeit: Durch die geringe Wärmeausdehnung ist ein schnelles Erhitzen und Abkühlen ohne Rissbildung möglich.
● Bessere Korrosionsbeständigkeit: Schützt das Graphitsubstrat vor chemischen Angriffen und HochtemperatursublimationSchaden.
● Längere Lebensdauer: Hält viel länger als unbeschichtete Graphitringe, sodass Sie den Ofen nicht so oft warten müssen.

Pyrolytischer Kohlenstoffbeschichtungseffekt unter einem 500-fachen Mikroskop mit intakter und versiegelter Oberfläche.


2. Technische Spezifikationen
Artikel
 Einheit
 Typischer Wert
Kristallstruktur
 —
 Sechseckig
Ausrichtung
 —
 Orientiert oder nicht ausgerichtet entlang der 001-Richtung
Schüttdichte
 g/cm³
 ~2,26
Mikrostruktur
 —
 Polykristallines / mehrschichtiges Graphen
Härte
 GPa
 1.4
Elastizitätsmodul
 GPa
 11
Typische Beschichtungsdicke
 μm
 20–110
Oberflächenrauheit
 μm
 1.5
Produktreinheit
 ppm
 ≤5 ppm


3. Bewerbungen

Der PyC-beschichtete Graphitring wird häufig verwendet in:

● SiC-Einkristall-Züchtungsöfen (PVT-Methode)
● Thermische Feldsysteme für Halbleiter der dritten Generation
● Hochtemperatur-Kristallwachstums-Isolierstrukturen
● Dampfströmungsleitsysteme
● Komponenten für Hochtemperatur-Vakuumöfen, Halbleiter-Wärmemanagementsysteme


4. VeTek-Halbleiterfertigungskapazität

VeTek Semiconductor konzentriert sich auf fortschrittliche Beschichtungsmaterialien und GrAphit-Wärmefeldteile für SiC und andere Halbleiteranwendungen. Das machen wir:

● Hochreine Graphitreinigung
● Präzise CNC-Bearbeitung
● Fortschrittliche CVD-PyC-Beschichtung
● Herstellung großer thermischer Feldkomponenten
● Kundenspezifische Wärmefeldlösungen
● Strenge Qualitätskontrolle in Halbleiterqualität. Wir fertigen auch kundenspezifische PyC-beschichtete Graphitteile basierend auf Ihren Zeichnungen oder Ofenkonfigurationen.




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