Quarzwaferboote

Quarzwaferboote sind unverzichtbare Präzisionswerkzeuge im Semiconductor -Herstellungsprozess. Es spielt eine wichtige Rolle im Hochtemperaturdiffusionsprozess und wird in LEDs, Solarzellen, traditionellen Halbleitergeräten, Dioden und anderen Feldern häufig verwendet. In diesen Anwendungen besteht die Hauptfunktion des Waferboots darin, Halbleiterwaffeln stabil zu tragen und genau zu platzieren, um sicherzustellen, dass die Wafer im Hochtemperaturdiffusionsofen gleichmäßig erhitzt werden, wodurch wichtige Prozessschritte wie Doping oder Oxidation erreicht werden. Seine hervorragenden physikalischen Eigenschaften machen das Quartz-Waferboot zum Eckpfeiler der Hochleistungs-Halbleiter-Geräte.

Wichtige Materialvorteile

Quarzwaferboote, erstellt aus hochpurigen Quarz-Quarz-Quarz-Booten, bieten eine Kombination aus überlegenen thermischen, chemischen und elektrischen Eigenschaften, die für die anspruchsvollen Halbleiteranwendungen von entscheidender Bedeutung sind:

● Niedriger thermischer Expansionskoeffizient

Quarzmaterial hat einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, was bedeutet, dass die Größe und Form des Waferboots unter extremen Temperaturänderungen hoch stabil bleiben kann. Dies ist entscheidend, um zu verhindern, dass der Wafer aufgrund von thermischer Belastung in Hochtemperaturprozessen deformiert oder knackt, wodurch die Genauigkeit und Konsistenz jedes Diffusionsprozesses sichergestellt wird.

● Hochtemperaturstabilität

Quarz kann seine strukturelle Integrität und chemische Stabilität bei extrem hohen Temperaturen aufrechterhalten und ist nicht leicht zu erweichen oder zu verformen. Auf diese Weise können Quarzwaferboote der rauen Umgebung von Tausenden von Grad Celsius im Halbleiterdiffusionsprozess standhalten, um die Kontinuität und Zuverlässigkeit des Prozesses zu gewährleisten.

● Ausgezeichnete Isolierung

Quarz ist ein ausgezeichneter elektrischer Isolator. Bei Halbleiterprozessen kann die Isolationseigenschaft unnötige Ladungsakkumulation oder Bogenentladung effektiv verhindern, wodurch empfindliche Halbleitergeräte vor Beschädigungen und die Sicherung der Sicherheit des Prozesses geschützt werden.

● Ausgezeichnete chemische Stabilität und Transparenz

Quarz hat eine hervorragende chemische Trägheit und ist nicht einfach mit chemischen Gasen im Diffusionsofen oder mit Substanzen auf der Oberfläche des Wafers zu reagieren, wodurch Verunreinigungsverschmutzung und Gewährleistung der Produktreinheit vermieden werden. Darüber hinaus weist seine optische Transparenz auch potenzielle Vorteile bei bestimmten spezifischen Überwachungs- oder optischen Erkennungsprozessen auf.

Anwendungen:

● LED -Chipherstellung

● Solarzellendiffusion und Dotierung

● Halbleiter -IC -Herstellung

● Batterie- und Diodenverarbeitung

● thermische Oxidation und LPCVD -Öfen

Warum wählen Sie unser Quarzwaferboot?

● aus hohem synthetischem Quarz gefertigt

● Anpassbare Größen für 2-Zoll bis 12-Zoll-Wafer

● Hervorragende dimensionale Präzision und glatte Oberflächenfinish

● kompatibel mit allen wichtigen Diffusionsofensystemen

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