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Halbleiter -Quarzboot
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Halbleiter -Quarzboot

Im Halbleiterprozess ist der Transport von Wafern besonders wichtig. Halbleiter -Quarzboote sind sehr gut darin, Wafer zu transportieren und für Prozesse wie Diffusion, Oxidation und CVD geeignet. Vetek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Lieferant von Halbleiterquarzbooten in China und in der Lage, Kunden hochmobile Produkte zu bieten.

Das Halbleiter-Quarzboot ist ein hochreines Quarzprodukt, das im Semiconductor-Herstellungsprozess verwendet wird. Die Hauptfunktion besteht darin, Wafer in Hochtemperaturöfen zu tragen und zu übertragen. Es wird in Präzisionsindustrien wie Halbleitern, Optoelektronik und LEDs häufig verwendet. Geeignet für Diffusion, Oxidation, CVD und andere Prozesse.


Semiconductor quartz boat working diagram

Produktfunktionen:


Hohe Reinheit: Semiconductor Quartz Boat verwendet hochreines Quarzmaterial mit extrem geringem Verunreinigungsgehalt, wodurch die Verschmutzung der Metallionen effektiv vermieden wird und für die sauberen Umweltanforderungen von Halbleiterprozessen geeignet ist.


Hochtemperaturwiderstand: Es hat einen hervorragenden Hochtemperaturwiderstand und kann in einer Umgebung bis zu 1200 ℃ für eine lange Zeit stabil verwendet werden.


Korrosionsbeständigkeit: Es hat eine gute Korrosionsbeständigkeit gegen die meisten chemischen Reagenzien wie Säuren und Alkalien, sodass es sich an die chemische Umgebung in Halbleitergeräten wie CVD -Öfen anpassen kann.


Gute thermische Stabilität.


Parameter
Spezifikationen
Material
High-Purity-Quarz
Außendurchmesser
Nach Bedarf angepasst
Länge
Nach Bedarf angepasst
Wärmestabilität
Stabiler Betrieb bei 1200 ° C.

quartz boat for furnace

Spezifikationen


• Verbesserung der Produktionseffizienz: Kompaktes Design, einfache Waferübertragung und verbesserte Prozesskapazität.


• Reduzieren Sie das Kontaminationsrisiko: High-Purity-Quarzmaterial, die Verunreinigungsverschmutzung der Spurenverschmutzung reduziert.


• Langes Leben und Haltbarkeit: Hochtemperatur- und Korrosionsbeständigkeit, geeignet für den Hochfrequenzverbrauch und senkte die Ersatzkosten.


Vetek Semiconductor setzt sich dafür ein, Kunden qualitativ hochwertige Quarz-Carrier-Produkte mit hoher Purity zu bieten. Alle Produkte sind streng hochwertig kontrolliert, um sicherzustellen, dass sie den hohen Standards der Halbleiterindustrie entsprechen.


Semiconductor quartz boat

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